Thuis
Materialen
0102030405
Siliciumcarbide gebruikt voor corrosiebestendige onderdelen, afdichtingsonderdelen, hittebestendige onderdelen, geleiderails en vierkante balken
Siliciumcarbide-keramiek heeft uitstekende mechanische eigenschappen bij normale temperaturen, zoals hoge sterkte, hoge hardheid, hoge elasticiteitsmodulus, uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, zoals hoge thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt, en goede specifieke stijfheid en optische verwerkingseigenschappen, vooral geschikt voor de voorbereiding van fotolithografiemachines en andere apparatuur met geïntegreerde schakelingen voor precisiekeramische structurele onderdelen. Zoals gebruikt in de fotolithografiemachine, precisie bewegende werkstuktafel, skelet, zuignap, watergekoelde plaat en precisiemeetspiegel, rooster en andere keramische structurele onderdelen, Fountyl nieuw materiaal na jaren van technisch onderzoek, lost het grote formaat, dunne muur op, holle en andere complexe structuur van siliciumcarbide structurele onderdelen, precisieverwerking en voorbereidingsproblemen, waardoor het technische knelpunt van dit soort precisie-technologie voor de voorbereiding van siliciumcarbide structurele onderdelen wordt doorbroken. Het heeft de lokalisatie van belangrijke structurele onderdelen die worden gebruikt in apparatuur voor de productie van geïntegreerde schakelingen enorm bevorderd.
● Siliciumcarbide-keramiek omvat voornamelijk drukloos sinteren siliciumcarbide (SSiC), reactie-gesinterd siliciumcarbide (RBSC), chemische dampafzetting siliciumcarbide (CVD-SiC).
● Siliciumcarbide heeft diverse uitstekende eigenschappen: superhard, slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en mechanische sterkte, lage thermische uitzettingscoëfficiënt, uitstekende thermische stabiliteit, lage dichtheid, hoge specifieke stijfheid, niet-magnetisch.
● Momenteel wordt siliciumcarbide-keramiek toegepast in verschillende industrieën, zoals de luchtvaart-, ruimtevaart- en nucleaire industrie, zoals keramische onderdelen van hoogwaardige apparatuur voor de productie van siliciumcarbide keramische reflectoren en IC-geïntegreerde schakelingen, warmtewisselaars en kogelvrije materialen onder extreme omstandigheden.
Kenmerken van precisie-keramische structurele onderdelen voor apparatuur voor de productie van geïntegreerde schakelingen:
① Zeer licht van gewicht: om de bewegingstraagheid te verminderen, de motorbelasting te verminderen, de bewegingsefficiëntie, positioneringsnauwkeurigheid en stabiliteit te verbeteren, gebruiken de structurele onderdelen over het algemeen een lichtgewicht structuurontwerp, het lichtgewichtpercentage is 60-80%, tot 90%;
② Hoge vorm-positienauwkeurigheid: om uiterst nauwkeurige bewegingen en positionering te bereiken, moeten de structurele onderdelen een extreem hoge vorm- en positienauwkeurigheid hebben, moeten de vlakheid, parallelliteit en loodrechtheid minder dan 1 μm zijn, en moeten de vorm en positie De positienauwkeurigheid moet minder dan 5 μm bedragen.
③ Hoge maatvastheid: om uiterst nauwkeurige bewegingen en positionering te bereiken, moeten de structurele onderdelen een extreem hoge maatvastheid hebben, geen spanning veroorzaken, en een hoge thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt, niet gemakkelijk om grote maatvervormingen te veroorzaken ;
④ Schoon en vrij van vervuiling. De structurele onderdelen moeten een extreem lage wrijvingscoëfficiënt hebben, een klein kinetisch energieverlies tijdens beweging en geen vervuiling door slijpdeeltjes. Siliciumcarbidemateriaal heeft een zeer hoge elastische modulus, thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, is niet gemakkelijk om buigspanningsvervorming en thermische spanning te produceren, en heeft een uitstekende polijstbaarheid, kan tot een uitstekende spiegel worden bewerkt; Daarom heeft het grote voordelen om siliciumcarbide te gebruiken als het precisiestructuurmateriaal voor de belangrijkste uitrusting van geïntegreerde schakelingen zoals fotolithografiemachines. Siliciumcarbide heeft de voordelen van goede chemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte, hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt. en kan worden toegepast bij hoge temperaturen, hoge druk, corrosie en straling van extreme omgevingen.
Siliciumcarbide heeft de voordelen van goede chemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte, hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, en kan worden toegepast bij hoge temperaturen, hoge druk, corrosie en straling van extreme omgevingen.
De belangrijkste uitrusting van geïntegreerde schakelingen vereist dat de componentmaterialen de kenmerken hebben van lichtgewicht, hoge sterkte, hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, en dicht en uniform zijn zonder defecten. Componenten moeten een extreem hoge maatnauwkeurigheid en maatvastheid hebben om uiterst nauwkeurige bewegingen en controle van de apparatuur te garanderen. Siliciumcarbide-keramiek heeft een hoge elastische modulus en specifieke stijfheid, is niet gemakkelijk te vervormen, en heeft een hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, hoge thermische stabiliteit, dus siliciumcarbide-keramiek is een uitstekend structureel materiaal, momenteel in de productie van geïntegreerde schakelingen van sleutelapparatuur voor een breed scala aan toepassingen, zoals een lithografiemachine met werktafel van siliciumcarbide, geleiderail, reflector, keramische boorkop en keramische eindeffector.
Fountyl kan de fotolithografiemachine ontmoeten als de vertegenwoordiger van de belangrijkste apparatuur voor de productie van geïntegreerde schakelingen met grote afmetingen, holle dunne wand, complexe structuur, precisie-technologie voor de voorbereiding van structurele onderdelen van siliciumcarbide, zoals: vacuümklauwplaat van siliciumcarbide, geleiderail, reflector, werktafel en een reeks precisie-siliciumcarbide structurele onderdelen voor fotolithografiemachines.
| Eigenschappen | Fontyl | ||
| Dichtheid (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young's modulus (GPa) | 368 | ||
| Buigsterkte (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8 × 10-6 | |
| 400℃ | 3,6 × 10-6 | ||
| 800℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6 × 10-6 | ||
| Thermische geleidbaarheid (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poisson-ratio | 0,187 | ||
| Afschuifmodulus (GPa) | 155 | ||