① Taas nga gaan: Aron makunhuran ang motion inertia, pagpakunhod sa motor load, pagpalambo sa motion efficiency, positioning accuracy ug stability, ang structural parts sa kasagaran naggamit sa lightweight structure design, ang lightweight rate mao ang 60-80%, hangtod sa 90%;
② Taas nga porma-posisyon nga katukma: Aron makab-ot ang high-precision nga paglihok ug pagposisyon, ang mga bahin sa istruktura gikinahanglan nga adunay hilabihan ka taas nga porma ug pagkasibu sa posisyon, ang flatness, parallelism ug perpendicularity gikinahanglan nga ubos pa sa 1μm, ug ang porma ug ang katukma sa posisyon gikinahanglan nga ubos pa sa 5μm.
③ Taas nga dimensyon nga kalig-on: Aron makab-ot ang high-precision nga paglihok ug pagpoposisyon, ang mga bahin sa estruktura gikinahanglan nga adunay hilabihan ka taas nga dimensyon nga kalig-on, dili makamugna og strain, ug taas nga thermal conductivity, ubos nga thermal expansion coefficient, dili sayon nga makahimo og dako nga dimensional deformation ;
④ Limpyo ug walay polusyon. Ang mga bahin sa istruktura gikinahanglan nga adunay hilabihan ka ubos nga friction coefficient, gamay nga kinetic energy nga pagkawala sa panahon sa paglihok, ug walay paggaling nga polusyon sa partikulo. Ang materyal nga Silicon carbide adunay taas kaayo nga elastic modulus, thermal conductivity ug ubos nga thermal expansion coefficient, dili sayon nga makahimo sa bending stress deformation ug thermal strain, ug adunay maayo kaayo nga polishability, mahimong makina sa maayo kaayo nga salamin; Busa, Kini adunay dako nga bentaha sa paggamit sa silicon carbide ingon sa tukma nga structural nga materyal alang sa mga yawe nga ekipo sa integrated sirkito sama sa photolithography machine, Silicon carbide adunay mga bentaha sa maayo nga kemikal nga kalig-on, taas nga mekanikal nga kalig-on, taas nga thermal conductivity ug ubos nga thermal expansion coefficient, ug mahimong magamit sa taas nga temperatura, taas nga presyur, corrosion ug radiation sa grabe nga mga palibot.
Ang Silicon carbide adunay mga bentaha sa maayo nga kemikal nga kalig-on, taas nga mekanikal nga kusog, taas nga thermal conductivity ug ubos nga thermal expansion coefficient, ug mahimong magamit sa taas nga temperatura, taas nga presyur, kaagnasan ug radiation sa grabeng mga palibot.
Ang yawe nga kagamitan sa integrated circuit nanginahanglan nga ang mga sangkap nga materyales adunay mga kinaiya sa gaan nga gibug-aton, taas nga kusog, taas nga thermal conductivity ug ubos nga thermal expansion coefficient, ug dasok ug uniporme nga walay mga depekto. Ang mga sangkap gikinahanglan nga adunay hilabihan ka taas nga dimensional nga katukma ug dimensional nga kalig-on aron masiguro ang ultra-precision nga paglihok ug pagkontrol sa mga ekipo. Ang silicone carbide ceramics adunay taas nga elastic modulus ug specific stiffness, dili sayon nga deform, ug adunay taas nga thermal conductivity ug ubos nga thermal expansion coefficient, taas nga thermal stability, mao nga ang silicon carbide ceramics usa ka maayo kaayo nga structural material, nga karon anaa sa integrated circuit manufacturing sa yawe nga mga ekipo aron makakuha og usa ka halapad nga mga aplikasyon, sama sa lithography machine nga adunay silicon carbide working table, guide rail, reflector, ceramic chuck, ug ceramic end effector.
Ang Fountyl makatagbo sa photolithography machine isip representante sa integrated circuit manufacturing key equipment nga adunay dako nga gidak-on, hollow thin wall, complex structure, precision silicon carbide structural parts preparation technology, sama sa: silicon carbide vacuum chuck, guide rail, reflector, working table ug usa ka serye sa mga precision silicon carbide structural parts para sa photolithography machine.