① Nagyon könnyű: A mozgás tehetetlenségének csökkentése, a motor terhelésének csökkentése, a mozgás hatékonyságának, a pozicionálási pontosság és a stabilitás javítása érdekében a szerkezeti részek általában könnyű szerkezeti kialakítást használnak, a könnyű súly aránya 60-80%, akár 90%;
② Nagy forma-pozíció pontosság: A nagy pontosságú mozgás és pozicionálás érdekében a szerkezeti részek rendkívül nagy alak- és helyzetpontossággal rendelkeznek, a síkság, párhuzamosság és merőlegesség 1 μm-nél kisebb legyen, valamint a forma ill. a pozíció pontosságának 5 μm-nél kisebbnek kell lennie.
③ Nagy méretstabilitás: A nagy pontosságú mozgás és pozicionálás érdekében a szerkezeti részeknek rendkívül nagy méretstabilitással kell rendelkezniük, nem kell feszültséget okozniuk, és magas hővezető képességgel, alacsony hőtágulási együtthatóval kell rendelkezniük, nem könnyű nagy méretbeli deformációt előállítani. ;
④ Tiszta és szennyeződésmentes. A szerkezeti részeknek rendkívül alacsony súrlódási tényezővel, kis mozgási energiaveszteséggel kell rendelkezniük, és nem kell csiszolórészecske-szennyezést okozniuk. A szilícium-karbid anyagnak nagyon magas rugalmassági modulusa, hővezető képessége és alacsony hőtágulási együtthatója van, nem könnyű hajlítási feszültség-deformációt és termikus alakváltozást előállítani, és kiváló polírozhatósággal rendelkezik, kiváló tükörré megmunkálható; Ezért nagy előnye van a szilícium-karbidnak az integrált áramkörök kulcsfontosságú berendezéseinek precíziós szerkezeti anyagaként való felhasználása, mint például a fotolitográfiai gép, a szilícium-karbid előnyei a jó kémiai stabilitás, a nagy mechanikai szilárdság, a magas hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható, és alkalmazható magas hőmérsékleten, nagy nyomáson, korróziós és extrém környezeti sugárzásban.
A szilícium-karbid előnyei a jó kémiai stabilitás, a nagy mechanikai szilárdság, a nagy hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható, és alkalmazható magas hőmérsékleten, nagy nyomáson, korrózióban és extrém környezeti sugárzásban.
Az integrált áramkör kulcsfontosságú berendezései megkövetelik, hogy az alkatrészek anyagai a könnyű súly, a nagy szilárdság, a nagy hővezető képesség és az alacsony hőtágulási együttható jellemzői legyenek, valamint sűrűek és egyenletesek legyenek, hibák nélkül. Az alkatrészeknek rendkívül nagy méretpontossággal és méretstabilitással kell rendelkezniük, hogy biztosítsák a berendezés rendkívül pontos mozgását és vezérlését. A szilícium-karbid kerámiák nagy rugalmassági modulusúak és fajlagos merevséggel rendelkeznek, nem könnyen deformálódnak, magas hővezető képességgel és alacsony hőtágulási együtthatóval, nagy hőstabilitásúak, ezért a szilícium-karbid kerámiák kiváló szerkezeti anyag, jelenleg az integrált áramkörök gyártásában. kulcsfontosságú berendezések az alkalmazások széles skálájának eléréséhez, például litográfiai gép szilícium-karbid munkaasztallal, vezetősínnel, reflektorral, kerámia tokmányral és kerámia végkiegyenlítővel.
A Fountyl találkozhat a fotolitográfiai géppel, mint a nagy méretű, üreges vékonyfalú, összetett szerkezetű, precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrész-előkészítési technológiával rendelkező integrált áramkör gyártó kulcsfontosságú berendezés képviselője, mint például: szilícium-karbid vákuum tokmány, vezetősín, reflektor, munkaasztal és egy sor precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrészt a fotolitográfiai gépekhez.