Koti
Materiaalit
0102030405
Piikarbidia käytetään korroosionkestäviin osiin, tiivisteosiin, korkeita lämpötiloja kestäviin osiin, ohjauskiskoihin ja neliömäisiin palkkeihin
Piikarbidikeramiikalla on erinomaiset mekaaniset ominaisuudet normaaleissa lämpötiloissa, kuten korkea lujuus, korkea kovuus, korkea kimmokerroin, erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius, kuten korkea lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja hyvä ominaisjäykkyys ja optiset käsittelyominaisuudet, erityisen sopivat. tarkkuuskeraamisten rakenneosien fotolitografiakoneiden ja muiden integroitujen piirilaitteiden valmistukseen. Kuten fotolitografiakoneessa käytetty tarkkuus liikkuva työkappalepöytä, luuranko, imukuppi, vesijäähdytteinen levy ja tarkkuusmittauspeili, ritilä ja muut keraamiset rakenneosat, Fountylin uusi materiaali vuosien teknisen tutkimuksen jälkeen, ratkaise suuri koko, ohut seinä, ontot ja muut monimutkaiset rakenteet piikarbidin rakenneosien tarkkuuskäsittelyn ja valmistelun ongelmia, murtaa tekninen pullonkaula tällaisen tarkkuus piikarbidin rakenneosien valmistelu tekniikkaa. Se on suuresti edistänyt integroitujen piirien valmistuslaitteissa käytettyjen keskeisten rakenneosien lokalisointia.
● Piikarbidikeramiikka sisältää pääasiassa paineettoman sintraavan piikarbidin (SSiC), reaktiosintratun piikarbidin (RBSC) ja kemiallisen höyrypinnoituspiikarbidin (CVD-SiC).
● Piikarbidilla on useita erinomaisia ominaisuuksia: erittäin kova, kulutuskestävyys, korkea lämmönjohtavuus ja mekaaninen lujuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin, erinomainen lämmönkestävyys, alhainen tiheys, korkea ominaisjäykkyys, ei-magneettinen.
● Tällä hetkellä piikarbidikeramiikkaa käytetään useilla teollisuudenaloilla, kuten ilmailu-, ilmailu- ja ydinteollisuudessa, kuten piikarbidin keraamisen heijastimen ja IC-integroitujen piirien valmistukseen tarkoitettujen huippuluokan laitteiden keraamisia osia, lämmönvaihtimia ja luodinkestäviä materiaaleja äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkkuuskeraamisten rakenneosien ominaisuudet integroitujen piirien valmistuslaitteisiin:
① Erittäin kevyt: liikkeen hitauskyvyn vähentämiseksi, moottorin kuormituksen vähentämiseksi, liikkeen tehokkuuden, paikannustarkkuuden ja vakauden parantamiseksi rakenneosat käyttävät yleensä kevyttä rakennesuunnittelua, kevytpaino on 60-80%, jopa 90%;
② Korkea muoto-asennon tarkkuus: Erittäin tarkan liikkeen ja asennon saavuttamiseksi rakenneosien muoto- ja sijaintitarkkuuden on oltava erittäin korkea, tasaisuuden, yhdensuuntaisuuden ja kohtisuoran on oltava alle 1 μm, ja muodon ja paikantamisen on oltava erittäin korkea. sijainnin tarkkuuden on oltava alle 5 μm.
③ Korkea mittojen vakaus: Korkean tarkkuuden liikkeen ja sijoituksen saavuttamiseksi rakenneosilla on oltava erittäin korkea mittojen vakaus, ne eivät aiheuta jännitystä ja korkea lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin, ei ole helppo tuottaa suuria muodonmuutoksia ;
④ Puhdas ja saasteeton. Rakenneosilla vaaditaan erittäin alhainen kitkakerroin, pieni liike-energiahäviö liikkeen aikana, eikä hiomahiukkasten saastumista. Piikarbidimateriaalilla on erittäin korkea kimmokerroin, lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ei ole helppo tuottaa taivutusjännityksen muodonmuutoksia ja lämpöjännitystä, ja sillä on erinomainen kiillotettavuus, se voidaan työstää erinomaiseksi peiliksi; Siksi piikarbidilla on suuria etuja käyttää tarkkuusrakennemateriaalina integroitujen piirien, kuten fotolitografiakoneen, tärkeimpiin laitteisiin, piikarbidin etuna on hyvä kemiallinen stabiilius, korkea mekaaninen lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja sitä voidaan käyttää korkeissa lämpötiloissa, korkeassa paineessa, korroosiossa ja säteilyssä äärimmäisissä ympäristöissä.
Piikarbidin etuna on hyvä kemiallinen stabiilisuus, korkea mekaaninen lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja sitä voidaan käyttää korkeissa lämpötiloissa, korkeassa paineessa, korroosiossa ja säteilyssä äärimmäisissä ympäristöissä.
Integroidun piirin tärkeimmät varusteet edellyttävät, että komponenttimateriaalien ominaisuudet ovat keveys, korkea lujuus, korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja ne ovat tiiviitä ja tasalaatuisia ilman vikoja. Komponenteilta vaaditaan erittäin suurta mittatarkkuutta ja mittojen vakautta laitteiden erittäin tarkan liikkeen ja hallinnan varmistamiseksi. Piikarbidikeramiikalla on korkea kimmokerroin ja ominaisjäykkyys, sitä ei ole helppo muotoilla, ja sillä on korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, korkea lämpöstabiilisuus, joten piikarbidikeramiikka on erinomainen rakennemateriaali, joka on tällä hetkellä integroitujen piirien valmistuksessa. tärkeimmät laitteet monenlaisiin sovelluksiin, kuten litografiakone piikarbidilla varustettu työpöytä, ohjauskisko, heijastin, keraaminen istukka ja keraaminen päätetehostin.
Fountyl voi tavata fotolitografiakoneen integroitujen piirien valmistusavainlaitteiden edustajana, jolla on suuri koko, ontto ohut seinämä, monimutkainen rakenne, tarkkuus piikarbidirakenneosien valmistustekniikka, kuten: piikarbidi-tyhjiöistukka, ohjauskisko, heijastin, työpöytä ja sarja tarkkuuspiikarbidirakenneosia fotolitografiakoneeseen.
| Ominaisuudet | Fountyl | ||
| Tiheys (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngin moduuli (GPa) | 368 | ||
| Taivutuslujuus (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8 × 10-6 | |
| 400℃ | 3,6 × 10-6 | ||
| 800℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6 × 10-6 | ||
| Lämmönjohtavuus (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| poissonin luku | 0,187 | ||
| Leikkausmoduuli (GPa) | 155 | ||