carburo de silicio
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Cerámica de carburo de silicio SiC
La cerámica de carburo de silicio posee excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia, dureza, módulo elástico alto, excelente estabilidad a altas temperaturas, alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica, buena rigidez específica y buenas propiedades de procesamiento óptico. Es especialmente adecuada para la preparación de piezas estructurales cerámicas de precisión en máquinas de fotolitografía y otros equipos de circuitos integrados. Como se utiliza en mesas móviles de precisión para piezas de trabajo, esqueletos, ventosas, placas refrigeradas por agua, espejos de medición de precisión y rejillas de las máquinas de fotolitografía, el nuevo material Fountyl, tras años de investigación técnica, resuelve los problemas de procesamiento y preparación de precisión de piezas estructurales de carburo de silicio de gran tamaño, paredes delgadas, huecos y otras estructuras complejas, superando así los obstáculos técnicos de este tipo de tecnología de preparación de piezas estructurales de carburo de silicio de precisión. Esto ha impulsado considerablemente la localización de piezas estructurales clave utilizadas en equipos de fabricación de circuitos integrados.
● Las cerámicas de carburo de silicio incluyen principalmente carburo de silicio sinterizado sin presión (SSiC), carburo de silicio sinterizado por reacción (RBSC) y carburo de silicio por deposición química de vapor (CVD-SiC).
● El carburo de silicio tiene una variedad de excelentes propiedades: súper duro, resistencia al desgaste, alta conductividad térmica y resistencia mecánica, bajo coeficiente de expansión térmica, excelente estabilidad térmica, baja densidad, alta rigidez específica, no magnético.
● En la actualidad, la cerámica de carburo de silicio se aplica en diversas industrias como la industria aeronáutica, aeroespacial y nuclear, como piezas cerámicas de equipos de alta gama para reflectores de cerámica de carburo de silicio y fabricación de circuitos integrados IC, intercambiadores de calor y materiales a prueba de balas en condiciones extremas.
Características de las piezas estructurales cerámicas de precisión para equipos de fabricación de circuitos integrados:
① Altamente liviano: para reducir la inercia del movimiento, reducir la carga del motor, mejorar la eficiencia del movimiento, la precisión de posicionamiento y la estabilidad, las piezas estructurales generalmente utilizan un diseño de estructura liviana, la tasa de peso liviano es del 60-80%, hasta el 90%;
② Alta precisión de forma y posición: para lograr un movimiento y posicionamiento de alta precisión, se requiere que las piezas estructurales tengan una precisión de forma y posición extremadamente alta, la planitud, el paralelismo y la perpendicularidad deben ser inferiores a 1 μm, y la precisión de forma y posición debe ser inferior a 5 μm.
③ Alta estabilidad dimensional: para lograr un movimiento y posicionamiento de alta precisión, se requiere que las piezas estructurales tengan una estabilidad dimensional extremadamente alta, no produzcan tensión y una alta conductividad térmica, un bajo coeficiente de expansión térmica y no sean fáciles de producir grandes deformaciones dimensionales;
④ Limpio y libre de contaminación. Las piezas estructurales deben tener un coeficiente de fricción extremadamente bajo, mínima pérdida de energía cinética durante el movimiento y ausencia de partículas de molienda. El carburo de silicio posee un módulo elástico, una conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica muy elevados, es resistente a la deformación por flexión y a la deformación térmica, y presenta una excelente capacidad de pulido, lo que permite un mecanizado de precisión con un acabado espejo. Por lo tanto, su uso como material estructural de precisión para equipos clave de circuitos integrados, como máquinas de fotolitografía, ofrece grandes ventajas. El carburo de silicio posee buenas ventajas como estabilidad química, alta resistencia mecánica, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica, lo que lo hace apto para aplicaciones en entornos extremos de alta temperatura, alta presión, corrosión y radiación.
El carburo de silicio tiene las ventajas de una buena estabilidad química, alta resistencia mecánica, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica, y se puede aplicar en entornos extremos de alta temperatura, alta presión, corrosión y radiación.
Los equipos clave de circuitos integrados requieren materiales que se caractericen por su ligereza, alta resistencia, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica, además de ser densos, uniformes y sin defectos. Los componentes deben tener una precisión y estabilidad dimensionales extremadamente altas para garantizar un movimiento y control ultraprecisos. La cerámica de carburo de silicio posee un alto módulo elástico y rigidez específica, es resistente a la deformación, posee alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y alta estabilidad térmica. Por lo tanto, es un excelente material estructural. Actualmente, se utiliza en la fabricación de circuitos integrados de equipos clave para una amplia gama de aplicaciones, como máquinas de litografía con mesa de trabajo de carburo de silicio, riel guía, reflector, mandril cerámico y efector final cerámico.
Fountyl puede cumplir con la máquina de fotolitografía como representante del equipo clave de fabricación de circuitos integrados con tecnología de preparación de piezas estructurales de carburo de silicio de gran tamaño, pared delgada hueca, estructura compleja, tales como: mandril de vacío de carburo de silicio, riel guía, reflector, mesa de trabajo y una serie de piezas estructurales de carburo de silicio de precisión para máquina de fotolitografía.
| Propiedades | Fountyl | ||
| Densidad (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Módulo de Young (GPa) | 368 | ||
| Resistencia a la flexión (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Conductividad térmica (W/m·k) (20 ºC) | 160－180 | ||
| coeficiente de Poisson | 0,187 | ||
| Módulo de corte (GPa) | 155 | ||