① Altamente leve: A fim de reduzir a inércia do movimento, reduzir a carga do motor, melhorar a eficiência do movimento, precisão de posicionamento e estabilidade, as peças estruturais geralmente usam design de estrutura leve, a taxa de leveza é de 60-80%, até 90%;
② Alta precisão de posição e forma: Para obter movimento e posicionamento de alta precisão, as peças estruturais devem ter forma e precisão de posição extremamente altas, o nivelamento, o paralelismo e a perpendicularidade devem ser inferiores a 1μm, e a forma e a precisão da posição deve ser inferior a 5μm.
③ Alta estabilidade dimensional: Para obter movimento e posicionamento de alta precisão, as peças estruturais devem ter estabilidade dimensional extremamente alta, não produzir deformação e alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica, não é fácil de produzir grande deformação dimensional ;
④ Limpo e livre de poluição. As peças estruturais devem ter coeficiente de atrito extremamente baixo, pequena perda de energia cinética durante o movimento e nenhuma poluição por partículas de moagem. O material de carboneto de silício tem um módulo de elasticidade muito alto, condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, não é fácil de produzir deformação por tensão de flexão e deformação térmica e tem excelente polibilidade, pode ser usinado em excelente espelho; Portanto, tem grandes vantagens em usar carboneto de silício como material estrutural de precisão para os principais equipamentos de circuitos integrados, como máquinas de fotolitografia. O carboneto de silício tem as vantagens de boa estabilidade química, alta resistência mecânica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, e pode ser aplicado em alta temperatura, alta pressão, corrosão e radiação de ambientes extremos.
O carboneto de silício tem as vantagens de boa estabilidade química, alta resistência mecânica, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, podendo ser aplicado em alta temperatura, alta pressão, corrosão e radiação de ambientes extremos.
O principal equipamento do circuito integrado exige que os materiais componentes tenham características de peso leve, alta resistência, alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, e sejam densos e uniformes sem defeitos. Os componentes devem ter precisão dimensional e estabilidade dimensional extremamente altas para garantir movimento e controle de ultraprecisão do equipamento. A cerâmica de carboneto de silício possui alto módulo de elasticidade e rigidez específica, não é fácil de deformar, possui alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, alta estabilidade térmica, portanto a cerâmica de carboneto de silício é um excelente material estrutural, atualmente na fabricação de circuitos integrados de equipamentos essenciais para obter uma ampla gama de aplicações, como máquina de litografia com mesa de trabalho de carboneto de silício, trilho guia, refletor, mandril de cerâmica e efetor final de cerâmica.
Fountyl pode atender a máquina de fotolitografia como representante do equipamento principal de fabricação de circuitos integrados com tamanho grande, parede fina oca, estrutura complexa, tecnologia de preparação de peças estruturais de carboneto de silício de precisão, tais como: mandril de vácuo de carboneto de silício, trilho guia, refletor, mesa de trabalho e uma série de peças estruturais de carboneto de silício de precisão para máquinas de fotolitografia.