① Très léger : Afin de réduire l'inertie du mouvement, de réduire la charge du moteur, d'améliorer l'efficacité du mouvement, la précision du positionnement et la stabilité, les pièces structurelles utilisent généralement une conception de structure légère, le taux de légèreté est de 60 à 80 %, jusqu'à 90 % ;
② Haute précision de forme et de position : Afin d'obtenir un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une précision de forme et de position extrêmement élevée, la planéité, le parallélisme et la perpendicularité doivent être inférieurs à 1 μm et la précision de forme et de position doit être inférieure à 5 μm.
③ Stabilité dimensionnelle élevée : Afin de réaliser un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une stabilité dimensionnelle extrêmement élevée, ne pas produire de contrainte, et une conductivité thermique élevée, un faible coefficient de dilatation thermique, ne pas produire facilement de grande déformation dimensionnelle ;
④ Propreté et absence de pollution. Les pièces structurelles doivent présenter un coefficient de frottement extrêmement faible, une faible perte d'énergie cinétique lors du mouvement et être exemptes de pollution par particules de meulage. Le carbure de silicium possède un module d'élasticité très élevé, une conductivité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique. Il est peu sujet aux déformations par flexion et aux contraintes thermiques, et offre une excellente aptitude au polissage, permettant un usinage miroir de haute qualité. Par conséquent, le carbure de silicium présente de grands avantages en tant que matériau structurel de précision pour les équipements clés des circuits intégrés, tels que les machines de photolithographie. Le carbure de silicium possède une bonne stabilité chimique, une résistance mécanique élevée, une conductivité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, et peut être utilisé dans des environnements extrêmes de haute température, de haute pression, de corrosion et de rayonnement.
Le carbure de silicium présente les avantages d'une bonne stabilité chimique, d'une résistance mécanique élevée, d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique, et peut être utilisé dans des environnements extrêmes à haute température, haute pression, corrosion et rayonnement.
Les composants essentiels des circuits intégrés doivent présenter une légèreté, une résistance mécanique élevée, une conductivité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique. Ils doivent également être denses, uniformes et exempts de défauts. Une précision et une stabilité dimensionnelles extrêmement élevées sont requises pour garantir un mouvement et un contrôle ultra-précis. Les céramiques en carbure de silicium, grâce à leur module d'élasticité et leur rigidité spécifique élevés, leur faible déformation, leur conductivité thermique élevée, leur faible coefficient de dilatation thermique et leur grande stabilité thermique, constituent un excellent matériau de structure. Elles sont aujourd'hui largement utilisées dans la fabrication de circuits intégrés, notamment pour les machines de lithographie dotées de tables de travail, de rails de guidage, de réflecteurs, de mandrins et d'effecteurs en carbure de silicium.
Fountyl peut répondre aux besoins des machines de photolithographie, en tant qu'équipement clé de fabrication de circuits intégrés, avec des pièces structurelles en carbure de silicium de grande taille, à parois fines et creuses, de structure complexe et de précision, telles que : mandrin à vide en carbure de silicium, rail de guidage, réflecteur, table de travail et une série de pièces structurelles en carbure de silicium de précision pour machines de photolithographie.
