① Très léger : afin de réduire l'inertie du mouvement, de réduire la charge du moteur, d'améliorer l'efficacité du mouvement, la précision du positionnement et la stabilité, les pièces structurelles utilisent généralement une conception de structure légère, le taux de légèreté est de 60 à 80 %, jusqu'à 90 % ;
② Précision de forme et de position élevée : afin d'obtenir un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une précision de forme et de position extrêmement élevée, la planéité, le parallélisme et la perpendiculaire doivent être inférieurs à 1 μm, et la forme et la précision de la position doit être inférieure à 5 μm.
③ Stabilité dimensionnelle élevée : afin d'obtenir un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une stabilité dimensionnelle extrêmement élevée, pour ne pas produire de contrainte, et une conductivité thermique élevée, un faible coefficient de dilatation thermique, pas facile de produire une déformation dimensionnelle importante. ;
④ Propre et sans pollution. Les pièces structurelles doivent avoir un coefficient de frottement extrêmement faible, une faible perte d'énergie cinétique pendant le mouvement et aucune pollution par les particules de broyage. Le matériau en carbure de silicium a un module d'élasticité, une conductivité thermique et un faible coefficient de dilatation thermique très élevés, n'est pas facile à produire une déformation par contrainte de flexion et une déformation thermique, et a une excellente aptitude au polissage, peut être usiné pour obtenir un excellent miroir ; Par conséquent, il présente de grands avantages d'utiliser le carbure de silicium comme matériau structurel de précision pour les équipements clés des circuits intégrés tels que les machines de photolithographie. Le carbure de silicium présente les avantages d'une bonne stabilité chimique, d'une résistance mécanique élevée, d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique. et peut être appliqué à haute température, haute pression, corrosion et rayonnement dans des environnements extrêmes.
Le carbure de silicium présente les avantages d'une bonne stabilité chimique, d'une résistance mécanique élevée, d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique, et peut être appliqué à haute température, haute pression, corrosion et rayonnement dans des environnements extrêmes.
L'équipement clé du circuit intégré exige que les matériaux des composants présentent les caractéristiques de légèreté, de haute résistance, de conductivité thermique élevée et de faible coefficient de dilatation thermique, et soient denses et uniformes sans défauts. Les composants doivent avoir une précision dimensionnelle et une stabilité dimensionnelle extrêmement élevées pour garantir un mouvement et un contrôle ultra précis de l'équipement. Les céramiques de carbure de silicium ont un module élastique élevé et une rigidité spécifique, ne se déforment pas facilement, et ont une conductivité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, une stabilité thermique élevée, de sorte que la céramique de carbure de silicium est un excellent matériau structurel, actuellement dans la fabrication de circuits intégrés de équipement clé pour obtenir une large gamme d'applications, telle qu'une machine de lithographie avec table de travail en carbure de silicium, rail de guidage, réflecteur, mandrin en céramique et effecteur final en céramique.
Fountyl peut rencontrer la machine de photolithographie en tant que représentant de l'équipement clé de fabrication de circuits intégrés avec une grande taille, une paroi mince creuse, une structure complexe, une technologie de préparation de pièces structurelles en carbure de silicium de précision, telle que : mandrin à vide en carbure de silicium, rail de guidage, réflecteur, table de travail et une série de pièces structurelles de précision en carbure de silicium pour machine de photolithographie.