① Очень легкий: чтобы уменьшить инерцию движения, уменьшить нагрузку на двигатель, повысить эффективность движения, точность позиционирования и стабильность, в конструктивных деталях обычно используется легкая конструкция, коэффициент легкости составляет 60-80%, до 90%;
② Высокая точность формы и положения: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования детали конструкции должны иметь чрезвычайно высокую точность формы и положения, плоскостность, параллельность и перпендикулярность должны быть менее 1 мкм, а форма и точность позиционирования должна быть менее 5 мкм.
③ Высокая стабильность размеров: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования детали конструкции должны иметь чрезвычайно высокую стабильность размеров, не создавать деформаций, а также высокую теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения, не легко вызывать большую размерную деформацию. ;
④ Чистый и экологически чистый. Детали конструкции должны иметь чрезвычайно низкий коэффициент трения, малые потери кинетической энергии при движении и отсутствие загрязнения шлифовальными частицами. Карбид кремния имеет очень высокий модуль упругости, теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, его нелегко вызвать при изгибе и термической деформации, он обладает отличной полируемостью, может быть подвергнут механической обработке до получения превосходного зеркала; Таким образом, использование карбида кремния в качестве прецизионного конструкционного материала для ключевого оборудования интегральных схем, такого как фотолитографическая машина, имеет большие преимущества. Карбид кремния обладает преимуществами хорошей химической стабильности, высокой механической прочности, высокой теплопроводности и низкого коэффициента теплового расширения. и может применяться при высокой температуре, высоком давлении, коррозии и радиации в экстремальных условиях.
Карбид кремния обладает преимуществами хорошей химической стабильности, высокой механической прочности, высокой теплопроводности и низкого коэффициента теплового расширения и может применяться при высоких температурах, высоком давлении, коррозии и радиации в экстремальных условиях.
Ключевое оборудование интегральной схемы требует, чтобы материалы компонентов имели легкий вес, высокую прочность, высокую теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, а также были плотными и однородными без дефектов. Компоненты должны иметь чрезвычайно высокую точность размеров и стабильность размеров, чтобы обеспечить сверхточное перемещение и управление оборудованием. Керамика из карбида кремния имеет высокий модуль упругости и удельную жесткость, ее нелегко деформировать, она имеет высокую теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, высокую термическую стабильность, поэтому керамика из карбида кремния является отличным конструкционным материалом, который в настоящее время используется в производстве интегральных схем. Ключевое оборудование для широкого спектра применений, такое как литографическая машина с рабочим столом из карбида кремния, направляющей, отражателем, керамическим патроном и керамическим концевым эффектором.
Компания Fountyl может рассматривать фотолитографическую машину как представитель ключевого оборудования для производства интегральных схем с большими размерами, полыми тонкими стенками, сложной структурой, прецизионными технологиями подготовки конструкционных деталей из карбида кремния, такими как: вакуумный патрон из карбида кремния, направляющая, отражатель, рабочий стол. и серия прецизионных конструкционных деталей из карбида кремния для фотолитографической машины.