Карбид кремния используется для изготовления коррозионно-стойких деталей, уплотнений, деталей, устойчивых к высоким температурам, направляющих и квадратных балок.

Основные характеристики: высокая термостойкость, высокая химическая стойкость, хорошая теплопроводность.

Основные области применения: коррозионно-стойкие детали, уплотнительные детали, детали, стойкие к высоким температурам, направляющие, квадратные балки.

Карбид кремния (SiC) — искусственный минерал с прочными ковалентными связями, обладающий твёрдостью, превышающей твёрдость оксида алюминия и нитрида кремния. В частности, керамика на основе карбида кремния обладает высокой износостойкостью при трении скольжения. Сохраняет прочность даже при высоких температурах и обладает превосходной коррозионной стойкостью.

Связаться с нами

Подробное описание материала

Таблица свойств материалов

Керамика из карбида кремния обладает превосходными механическими свойствами при нормальной температуре, такими как высокая прочность, высокая твердость, высокий модуль упругости, отличная стабильность при высоких температурах, такая как высокая теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения и хорошая удельная жесткость и оптические свойства обработки, особенно подходит для подготовки фотолитографических машин и другого оборудования для интегральных схем для прецизионных керамических структурных деталей. Такие, как используемые в фотолитографических машинах прецизионные движущиеся столы для заготовок, скелеты, присоски, водоохлаждаемые пластины и прецизионные измерительные зеркала, решетки и другие керамические структурные детали, новый материал Fountyl после многих лет технических исследований решает проблемы прецизионной обработки и подготовки крупногабаритных, тонкостенных, полых и других сложных структур структурных деталей из карбида кремния, преодолевая техническое узкое место этого вида технологии подготовки прецизионных структурных деталей из карбида кремния. Это значительно способствовало локализации ключевых структурных деталей, используемых в оборудовании для производства интегральных схем.

● Керамика на основе карбида кремния в основном включает карбид кремния, полученный спеканием без давления (SSiC), карбид кремния, полученный реакционным спеканием (RBSC), карбид кремния, полученный химическим осаждением из паровой фазы (CVD-SiC).

● Карбид кремния обладает рядом превосходных свойств: сверхтвердость, износостойкость, высокая теплопроводность и механическая прочность, низкий коэффициент теплового расширения, отличная термическая стабильность, низкая плотность, высокая удельная жесткость, немагнитность.

● В настоящее время керамика из карбида кремния применяется в различных отраслях промышленности, таких как авиация, космонавтика и атомная промышленность, например, в качестве керамических деталей высокотехнологичного оборудования для производства рефлекторов из карбида кремния и интегральных схем, теплообменников и пуленепробиваемых материалов, работающих в экстремальных условиях.

Ключевые технологии и оборудование для производства интегральных схем в основном включают в себя литографию и литографическое оборудование, технологию и оборудование для роста пленок, технологию и оборудование для химико-механической полировки, технологию и оборудование для высокоплотной пост-упаковки и т. д. Все они включают в себя технологию управления движением и приводную технологию с высокой эффективностью, высокой точностью и высокой стабильностью, что предъявляет чрезвычайно высокие требования к точности структурных деталей и эксплуатационным характеристикам конструкционных материалов. Возьмем в качестве примера стол заготовки в литографической машине. Стол заготовки в основном отвечает за завершение движения экспонирования, что требует реализации высокоскоростного, большого хода и шести степеней свободы сверхточного перемещения наноуровня.

Особенности прецизионных керамических конструкционных деталей для оборудования по производству интегральных схем:

① Очень легкий вес: для уменьшения инерции движения, снижения нагрузки на двигатель, повышения эффективности движения, точности позиционирования и устойчивости конструктивные элементы обычно имеют облегченную конструкцию, коэффициент легкости составляет 60-80%, вплоть до 90%;

② Высокая точность формы и положения: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования конструктивные детали должны иметь чрезвычайно высокую точность формы и положения, плоскостность, параллельность и перпендикулярность должны быть менее 1 мкм, а точность формы и положения должна быть менее 5 мкм.

③ Высокая размерная стабильность: для достижения высокоточного перемещения и позиционирования конструктивные детали должны обладать чрезвычайно высокой размерной стабильностью, не создавать деформаций, высокой теплопроводностью, низким коэффициентом теплового расширения, не поддаваться большим размерным деформациям;

4. Чистота и отсутствие загрязнения. Структурные детали должны иметь чрезвычайно низкий коэффициент трения, малые потери кинетической энергии при движении и отсутствие загрязнения абразивными частицами. Карбид кремния обладает очень высоким модулем упругости, теплопроводностью и низким коэффициентом теплового расширения, не подвержен изгибу и термической деформации, обладает отличной полируемостью и может обрабатываться до зеркального блеска. Поэтому использование карбида кремния в качестве прецизионного конструкционного материала для ключевого оборудования интегральных схем, такого как фотолитографические машины, имеет большие преимущества. Карбид кремния обладает такими преимуществами, как хорошая химическая стабильность, высокая механическая прочность, высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, и может применяться в экстремальных условиях высоких температур, высокого давления, коррозии и радиации.

Карбид кремния обладает такими преимуществами, как хорошая химическая стабильность, высокая механическая прочность, высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, и может применяться в экстремальных условиях высоких температур, высокого давления, коррозии и радиации.

Ключевое оборудование интегральных схем требует, чтобы материалы компонентов обладали такими характеристиками, как малый вес, высокая прочность, высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, а также были плотными и однородными без дефектов. Компоненты должны иметь чрезвычайно высокую размерную точность и размерную стабильность, чтобы обеспечить сверхточное перемещение и управление оборудованием. Керамика из карбида кремния имеет высокий модуль упругости и удельную жесткость, нелегко деформируется, имеет высокую теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, высокую термическую стабильность, поэтому керамика из карбида кремния является превосходным конструкционным материалом, в настоящее время используемым в производстве ключевого оборудования интегральных схем для получения широкого спектра применений, таких как литографические машины с рабочим столом из карбида кремния, направляющие, отражатели, керамические патроны и керамические концевые эффекторы.

Компания Fountyl может представить фотолитографическую машину как ключевое оборудование для производства интегральных схем с большими размерами, тонкими полыми стенками, сложной структурой и технологией подготовки прецизионных структурных деталей из карбида кремния, таких как: вакуумный зажим из карбида кремния, направляющая, отражатель, рабочий стол и ряд прецизионных структурных деталей из карбида кремния для фотолитографической машины.

Характеристики	Фаунтил
Плотность (г/см3)	2.98-3.02
Модуль Юнга (ГПа)	368
Прочность на изгиб (МПа)	334
Вейбулл	8.35
КТР（×10-6/℃）	100℃	2,8×10-6
	400℃	3,6×10-6
	800℃	4,2×10-6
	1000℃	4,6×10-6
Теплопроводность (Вт/м·К) (20 ºC)	160－180
Коэффициент Пуассона	0,187
Модуль сдвига (ГПа)	155