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Carburo di silicio utilizzato per parti resistenti alla corrosione, parti di guarnizioni, parti resistenti alle alte temperature, binari di guida e travi quadrate
Le ceramiche al carburo di silicio hanno eccellenti proprietà meccaniche a temperatura normale, come elevata resistenza, elevata durezza, elevato modulo elastico, eccellente stabilità alle alte temperature, come elevata conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione termica e buona rigidità specifica e proprietà di lavorazione ottica, particolarmente adatte per la preparazione di macchine fotolitografiche e altre apparecchiature a circuito integrato per parti strutturali in ceramica di precisione. Come quelli utilizzati nella tavola mobile di precisione della macchina fotolitografica, nello scheletro, nella ventosa, nella piastra raffreddata ad acqua e nello specchio di misurazione di precisione, nella griglia e in altre parti strutturali in ceramica, il nuovo materiale Fountyl dopo anni di ricerca tecnica, risolve le grandi dimensioni, la parete sottile, struttura cava e altra complessa di problemi di lavorazione e preparazione di precisione delle parti strutturali in carburo di silicio, superando il collo di bottiglia tecnico di questo tipo di tecnologia di preparazione delle parti strutturali di precisione in carburo di silicio. Ha promosso notevolmente la localizzazione delle parti strutturali chiave utilizzate nelle apparecchiature per la produzione di circuiti integrati.
● Le ceramiche al carburo di silicio includono principalmente carburo di silicio per sinterizzazione senza pressione (SSiC), carburo di silicio sinterizzato per reazione (RBSC), carburo di silicio per deposizione chimica in fase vapore (CVD-SiC).
● Il carburo di silicio ha una varietà di proprietà eccellenti: super duro, resistenza all'usura, elevata conduttività termica e resistenza meccanica, basso coefficiente di dilatazione termica, eccellente stabilità termica, bassa densità, elevata rigidità specifica, non magnetico.
● Attualmente, la ceramica al carburo di silicio viene applicata in vari settori come quello aeronautico, aerospaziale e nucleare, come parti in ceramica di apparecchiature di fascia alta per riflettori ceramici in carburo di silicio e produzione di circuiti integrati IC, scambiatori di calore e materiali antiproiettile in condizioni estreme.
Caratteristiche delle parti strutturali in ceramica di precisione per apparecchiature di produzione di circuiti integrati:
① Altamente leggero: per ridurre l'inerzia del movimento, ridurre il carico del motore, migliorare l'efficienza del movimento, la precisione di posizionamento e la stabilità, le parti strutturali generalmente utilizzano un design della struttura leggero, il tasso di leggerezza è del 60-80%, fino al 90%;
② Elevata precisione di forma e posizione: per ottenere movimenti e posizionamenti di alta precisione, le parti strutturali devono avere una precisione di forma e posizione estremamente elevata, la planarità, il parallelismo e la perpendicolarità devono essere inferiori a 1μm e la forma e la precisione della posizione deve essere inferiore a 5μm.
③ Elevata stabilità dimensionale: per ottenere movimenti e posizionamenti ad alta precisione, le parti strutturali devono avere stabilità dimensionale estremamente elevata, non produrre deformazioni, elevata conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione termica, non è facile produrre grandi deformazioni dimensionali ;
④ Pulito e privo di inquinamento. Le parti strutturali devono avere un coefficiente di attrito estremamente basso, una piccola perdita di energia cinetica durante il movimento e nessun inquinamento da particelle di macinazione. Il materiale in carburo di silicio ha un modulo elastico molto elevato, conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica, non è facile produrre deformazione da sollecitazione di flessione e deformazione termica e ha un'eccellente lucidabilità, può essere lavorato fino a ottenere uno specchio eccellente; Pertanto, presenta grandi vantaggi utilizzare il carburo di silicio come materiale strutturale di precisione per le apparecchiature chiave dei circuiti integrati come le macchine per fotolitografia. Il carburo di silicio presenta i vantaggi di buona stabilità chimica, elevata resistenza meccanica, elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica. e può essere applicato ad alta temperatura, alta pressione, corrosione e radiazioni di ambienti estremi.
Il carburo di silicio presenta i vantaggi di una buona stabilità chimica, elevata resistenza meccanica, elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica e può essere applicato ad alta temperatura, alta pressione, corrosione e radiazioni di ambienti estremi.
L'attrezzatura chiave del circuito integrato richiede che i materiali dei componenti abbiano le caratteristiche di leggerezza, elevata resistenza, elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica e siano densi e uniformi senza difetti. I componenti devono avere un'accuratezza e una stabilità dimensionale estremamente elevate per garantire il movimento e il controllo ultraprecisi dell'attrezzatura. La ceramica al carburo di silicio ha un modulo elastico elevato e una rigidità specifica, non facile da deformare, e ha un'elevata conduttività termica e un basso coefficiente di dilatazione termica, elevata stabilità termica, quindi la ceramica al carburo di silicio è un eccellente materiale strutturale, attualmente nella produzione di circuiti integrati di apparecchiature chiave per ottenere un'ampia gamma di applicazioni, come macchina per litografia con piano di lavoro in carburo di silicio, binario di guida, riflettore, mandrino in ceramica ed effettore finale in ceramica.
Fountyl può incontrare la macchina per fotolitografia come rappresentante dell'attrezzatura chiave per la produzione di circuiti integrati con pareti sottili e cave di grandi dimensioni, struttura complessa, tecnologia di preparazione di parti strutturali di precisione in carburo di silicio, come: mandrino a vuoto in carburo di silicio, binario di guida, riflettore, tavolo di lavoro e una serie di parti strutturali di precisione in carburo di silicio per macchine fotolitografiche.
| Proprietà | Fountyl | ||
| Densità (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulo di Young (GPa) | 368 | ||
| Resistenza alla flessione (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Conducibilità termica (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| rapporto di Poisson | 0,187 | ||
| Modulo di taglio (GPa) | 155 | ||