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Carburu di siliciu usatu per parti resistenti à a corrosione, pezzi di guarnizioni, parti resistenti à alta temperatura, guide è travi quadrati
A ceramica di carburu di siliciu hà proprietà meccaniche eccellenti à a temperatura normale, cum'è alta resistenza, alta durezza, altu modulu elasticu, eccellente stabilità à alta temperatura, cum'è alta conducibilità termale, bassu coefficient di espansione termica, è una bona rigidità specifica è proprietà di trasfurmazioni ottiche, soprattuttu adattate. per a preparazione di machini di fotolitografia è altri equipaghji di circuiti integrati per parti strutturali ceramiche di precisione. Cum'è usatu in a machina photolithography precisione muvimenti workpiece table, scheletru, ventosa, piastra rinfriscata acqua è specchiu misura di precisione, griglia è altre parti strutturale ceramica, Fountyl novu materiale dopu à anni di ricerca tecnicu, risolviri u grande taglia, muru magre, cava è altre struttura cumplessa di parti strutturali di carburu di siliciu di pricisioni di trasfurmazioni è di prublemi di preparazione, sfondendu u collu tecnicu di stu tipu di tecnulugia di preparazione di parti strutturali di carburu di siliciu di precisione. Hà prumuvutu assai a localizazione di parti strutturali chjave aduprate in l'equipaggiu di fabricazione di circuiti integrati.
● Ceramica di carburu di siliciu include principalmente carburu di silicuu di sinterizzazione senza pressione (SSiC), carburu di siliciu di sinterizzazione di reazzione (RBSC), carburu di siliciu di deposizione di vapore chimicu (CVD-SiC).
● Carbide di siliciu hà una varietà di proprietà eccellenti: super dura, resistenza à l'usura, alta conductività termale è forza meccanica, bassu coefficient di espansione termale, stabilità termale eccellente, bassa densità, alta rigidità specifica, non-magnetica.
● Attualmente, a ceramica di carburu di siliciu hè appiicata in diverse industrii cum'è l'aviazione, l'aerospaziale è l'industria nucleare, cum'è e parti ceramiche di l'equipaggiu high-end per u riflettore ceramicu di carburu di siliciu è a fabricazione di circuiti integrati IC, scambiatori di calore è materiali bulletproof in cundizioni estremi.
Caratteristiche di parti strutturali ceramiche di precisione per l'equipaggiu di fabricazione di circuiti integrati:
① Altamente ligeru: Per riduce l'inerzia di u muvimentu, riduce a carica di u mutore, migliurà l'efficienza di u muvimentu, a precisione di u posizionamentu è a stabilità, e parti strutturali generalmente utilizanu un disignu di struttura ligera, a tarifa ligera hè 60-80%, finu à 90%;
② Alta precisione di a pusizione di forma: Per ottene u muvimentu è u posizionamentu d'alta precisione, i parti strutturali sò tenuti à avè una precisione di forma è di pusizione estremamente alta, a piattezza, u parallelismu è a perpendicularità sò richiesti à esse menu di 1μm, è a forma è a pusizione. a precisione di a pusizione deve esse menu di 5 μm.
③ Alta stabilità dimensionale: Per ottene un muvimentu è un posizionamentu d'alta precisione, e parti strutturali sò tenute à avè una stabilità dimensionale estremamente alta, per ùn pruduce micca tensione, è alta conduttività termica, bassu coefficiente di espansione termica, micca faciule di pruduce una grande deformazione dimensionale. ;
④ Pulito è senza contaminazione. E parti strutturali sò tenute à avè un coefficiente di attritu estremamente bassu, una piccula perdita di energia cinetica durante u muvimentu, è senza contaminazione di particelle di macinazione. U materiale di carburu di silicuu hà un modulu elasticu assai altu, una conduttività termica è un bassu coefficient di espansione termica, ùn hè micca faciule di pruduce deformazioni di tensione di curvatura è deformazione termica, è hà una lucidabilità eccellente, pò esse machinatu à un specchiu eccellente; Per quessa, hà grandi vantaghji di utilizà carburu di siliciu cum'è u materiale strutturale di precisione per l'equipaggiu chjave di i circuiti integrati cum'è a macchina di fotolitografia, u carburu di siliciu hà i vantaghji di una bona stabilità chimica, alta forza meccanica, alta conduttività termica è bassu coefficient di espansione termica, è pò esse appiicata in alta temperatura, alta pressione, currusioni è radiazioni di ambienti estremi.
U carburu di siliciu hà i vantaghji di una bona stabilità chimica, alta forza meccanica, alta conductività termale è bassu coefficient di espansione termica, è pò esse appiicata in alta temperatura, alta pressione, corrosione è radiazione di ambienti estremi.
L'equipaggiu chjave di u circuitu integratu richiede chì i materiali cumpunenti anu e caratteristiche di pesu ligeru, alta resistenza, alta conduttività termale è bassu coefficient di espansione termica, è sò densi è uniformi senza difetti. I cumpunenti sò tenuti à avè una precisione dimensionale estremamente alta è stabilità dimensionale per assicurà u muvimentu ultra-precisione è u cuntrollu di l'equipaggiu. A ceramica di carburu di siliciu anu un modulu elasticu elevatu è una rigidità specifica, micca faciule da deformà, è hà una alta conducibilità termica è un bassu coefficiente di espansione termica, alta stabilità termica, cusì a ceramica di carburu di siliciu hè un materiale strutturale eccellente, attualmente in a fabricazione di circuiti integrati di equipamentu chjave per ottene una larga gamma di applicazioni, cum'è una macchina di litografia cù tavola di travagliu in carburu di siliciu, guida di guida, riflettore, mandrinu in ceramica è efectu finale di ceramica.
Fountyl pò scuntrà a macchina di fotolitografia cum'è u rapprisentante di l'equipaggiu chjave di fabricazione di circuiti integrati cù grande dimensione, muru sottile cavu, struttura cumplessa, tecnulugia di preparazione di parti strutturali di carburu di siliciu di precisione, cum'è: mandrinu di vacuum in carburu di siliciu, guida di guida, riflettore, tavola di travagliu. è una serie di parti strutturali di carburu di siliciu di precisione per a macchina di fotolitografia.
| Pruprietà | Fountyl | ||
| Densità (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulu di Young (GPa) | 368 | ||
| Forza à flessione (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6 × 10-6 | ||
| Conduttività termica (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Rapportu di Poisson | 0,187 | ||
| Modulu à cisaillement (GPa) | 155 | ||