Fyrkantig balk och styrskena för ultraprecisionsrörelseplattform och detekteringsutrustning

Om man tar vakuumchuckenheten som ett exempel, är materialet som användes i den tidigaste 2-tums- och 4-tums wafer-eran flygaluminium, men det har stött på flaskhalsen med ultrahög planhet (bättre än 1 mikron) i en tid av stor storlek wafers (8 "och fler än 8"), som inte kan uppfylla det hårda indexet för ultrahög planhet och elimineras. Nästa, aluminiumoxid material som en övergång, dess elasticitetsmodul, låg vikt, värmeledningsförmåga och expansionskoefficient och kiselkarbid dvärg, men inte på några pinsamma; Efter genombrottet i beredningstekniken för storstorlek och komplex specialformad ihålig struktur kiselkarbidkeramik, har komponenter inklusive ultraprecisions arbetsstyckesbas, ultraprecisionsluftflytledare och wafertransmissionsarm uppgraderats.

Inte bara de ovan nämnda keramiska kiselkarbiddelarna som uppfyller hårda indikatorer med ultrahög precision på planhet, parallellitet och vertikalitet, för de keramiska delarna av kiselkarbid med hög renhet som krävs för waferdiffusion, dopning, etsningsprocesser i halvledarindustrin , särskilt i högren CVDSiC-materialberedningsteknik, har en mogen processteknik och har insett tillverkning av hög renhet kiselkarbid keramisk kristallbåt, kiselkarbid keramisk lagerplatta, kiselkarbid keramisk luftflytande rörelseplattform, kiselkarbid ultra - precisionsrörelseplattform, styrskena av kiselkarbid, glidskenakomponenter av kiselkarbid.

I framtiden kommer vi att ytterligare utöka tillämpningen av kiselkarbidmaterial i halvledarindustrin och bidra till uppgraderingen av halvledarindustrins kedja och kiselkarbidkeramiska industrin. Kinas keramiska precisionskomponenter av kiselkarbid, oberoende forskning och marknadsföring av inhemska tillämpningar har precis börjat, med den kraftiga utvecklingen av halvledarindustrin kommer marknadens efterfrågan på denna typ av avancerad keramisk struktur att bli mer och mer stor, kiselkarbid med sin utmärkta fysiska och kemiska egenskaper, inom halvledarindustrin har breda tillämpningsmöjligheter.