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Poutre carrée en céramique pour plateforme de mouvement ultra-précise et équipement de détection
Produit principal

Poutre carrée en céramique pour plateforme de mouvement ultra-précise et équipement de détection

L'application de la poutre en céramique au carbure de silicium :

C'est l'un des composants principaux de la machine de lithographie, sa fonction principale est de transporter la plaquette suivant une trajectoire prescrite pour un mouvement de précision à grande vitesse et l'action nécessaire pour terminer la série d'exposition, y compris la pièce supérieure et inférieure, l'alignement, la mesure de la surface de la plaquette et l'exposition.

    Le caractéristique du produit 

    La céramique en carbure de silicium présente non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais aussi des propriétés mécaniques à haute température (résistance mécanique, résistance au fluage, etc.) bien connues des matériaux céramiques. Le carbure de silicium se caractérise également par sa résistance à la corrosion, sa résistance aux hautes températures, sa résistance mécanique élevée, sa bonne conductivité thermique et sa résistance aux chocs.

    1. Haute résistance

    2. Résistant aux hautes températuresce

    3. Fort crésistance à la corrosion

    4. Haut orésistance à l'oxydation

    5. Bonne résistance aux chocs thermiques

    6. Conductivité thermique élevée

    But:

    Plateformes de mouvement ultra-précises, équipements de détection plus précis.

    Des produits personnalisés peuvent être fabriqués selon des échantillons ou des dessins.

    Les équipements spécifiques aux semi-conducteurs et les équipements de test de précision ont des exigences extrêmement élevées pour les composants de base.

    RExigences : Ultra-léger (réduction de l'inertie du mouvement et de la charge du moteur), ultra-haute stabilité (le traitement ultra-précis nécessite un mouvement et un positionnement de haute précision, et une déformation dimensionnelle minimale due à des facteurs tels que la dilatation thermique) et propreté (dureté élevée et résistance à l'usure élevée), peut répondre aux exigences techniques pour la préparation de composants structurels en carbure de silicium de grande taille, creux à parois minces, à structure complexe et de précision pour les équipements de précision.

     

     

    Avantages de Fountyl :

    1, technologie japonaise, indépendante R&D et la production de matériaux céramiques en carbure de silicium ;

    2, Tle plus long faisceau taille : 1600 mm

    3, Spersonnalisation de la structure : structure légère, Dansstructure à huit réductionss peut être conçu.

    4, Hhaute précision: ultra haute précision, selon la structure différente et la taille différente, veuillez confirmer le précision avec le client.

    5, Cet choisir le matériau : alucéramiques mina, céramique en carbure de siliciums.