Home
Nā huahana
0102030405
Electrostatic chuck me ka hoʻohālikelike, kiʻekiʻe-kiʻekiʻe, kiʻekiʻe kiʻekiʻe o ka hoʻolālā ʻana me ka hana maʻamau
Nā hiʻohiʻona
Pili | Hoʻopilikino | Kiʻekiʻe-Density | Ka Mana Kiekie | Manawa Hoouna wikiwiki | Kūʻai-pono
Nā noi
Lon-implantation | Kiʻiʻoniʻoni lahilahi | Etch | Ke Kaʻina Hana | Hoʻolālā Lako
Hoʻolālā a hana
Hāʻawi ʻia ʻo 12 inch Fab e hōʻoia i ka hana maoli, hāʻawi i ka hana hou a me ka hoʻoponopono, a hōʻoia i ka hoʻomohala ʻana a me ka hoʻolālā.
Me nā mea hana kaʻina hana a me ka hoʻomohala ʻenehana kaʻina hana o ka semiconductor a me ka kaapuni hoʻohui, nā kuʻuna electrostatic chucks me ka hoʻohana ʻana i nā mea polymer organik, metala oxides a me nā mea seramika e like me ka dielectrics ʻaʻole kūpono loa me nā mea like me nā wafers silicon, sapphire a me ka silicon carbide. No laila, e ulu mālie nā puʻupuʻu electrostatic i kūpono me ka mua, ka lua a me ke kolu o ka hanauna semiconductor wafer grippers.
ʻO Polymer Electrostatic Chuck / Heater
ʻO ka polymer dielectric material (Polymer) ka mea i hoʻohana nui ʻia i ka electrostatic chuck material, ʻo kāna kaʻina hoʻomākaukau ʻana ʻo ia ka mea ʻoi loa, polymer dielectric mea ma hope o ka polymer hoʻololi ʻana i ka mālama ʻana, uila, mechanical, wela ke kūpaʻa, e hoʻomaikaʻi nui ʻia nā waiwai kūʻē halogen. Hoʻohālikelike ʻia ka mea dielectric e nā hana hoʻohui ʻē aʻe, a laila hoʻopaʻa ʻia e ka ukana kaumaha multistage vacuum, a ua hoʻokumu ʻia kahi papa insulation dielectric ma waena o nā electrodes kūloko.
Polima Electrostatic Chuck
Hoʻohana ʻia ka ʻenehana hoʻololi polymer e hoʻokō i ka resistivity bulk kiʻekiʻe a me ka mau dielectric pili, a loaʻa ka ikaika clamping paʻa.
Hiki i nā mea dielectric kiʻekiʻe kiʻekiʻe ke hōʻemi i ka pilikia o nā mea ʻāpana a hoʻemi i ka neʻe ʻana o ka ion.
Hiki ke kūlike ka ʻokoʻa o nā mea hoʻopili me ka hoʻopili ʻana i nā wafers o nā mea like ʻole.
ʻOi aku ka maikaʻi o ka corrosion i ka halogen a me ka lewa plasma.
ʻO ke kumukūʻai kiʻekiʻe, ka manawa ʻae pōkole, kūpono no ka hoʻomohala ʻana i ke kaʻina huahana a me ka hōʻoia hoʻomohala ʻana i nā mea hana hou.
ʻO Polymer Electrostatic Chuck Me ka Heater
Hiki iā ia ke hoʻomaopopo i ka hoʻolālā ʻana o nā wahi wela wela (a hiki i 20 mau ʻāpana wela), a loaʻa iā ia ka kūlike wela wela (± 5% ℃@150 ℃).
Hoʻohana ʻia ka ʻenehana laminating vacuum no ka loaʻa ʻana o ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me nā mahana wela a hiki i 200 ° C.
ʻAʻahu hoʻomehana ʻokoʻa, me kahi ākea ākea o nā ʻōkuhi wela.
ʻO ke kumukūʻai kiʻekiʻe, ka manawa ʻae pōkole, kūpono no ka hoʻomohala ʻana i ke kaʻina huahana a me ka hōʻoia hoʻomohala ʻana i nā mea hana hou.
Keramics Electrostatic Chuck / Heater
ʻO ka ʻenehana coagulation seramika kahi kaʻina sintering i hoʻomaikaʻi ʻia i ka hoʻomohala ʻana i nā alumina / alumini nitride ceramic electrostatic chucks a me nā mea wela. ʻO kāna kumu, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i nā pauka seramika nanometer anawaena, i hui pū ʻia i kekahi ʻāpana ma o kahi mea hoʻohui ʻokoʻa a me ke kaʻina hui. Ua hoʻopaʻa ʻia nā puʻupuʻu electrostatic ceramic me ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe, ka hoʻokumu ʻana i ke aniani kūpaʻa a me ka hāʻawi ʻana i ka resistivity like ʻole me kahi pihi wela sintering i nā lako sintering. ʻO ka static chuck i hana ʻia e ka ʻenehana coagulation ceramic he kiʻekiʻe kiʻekiʻe, ka hoʻolālā aniani paʻa a me ka hoʻokaʻawale ʻana i ka nui o ka resistivity volume, a hiki ke hoʻomaopopo i ka hana maʻamau o ka puʻupuʻu i loko o ke ʻano koʻikoʻi ma lalo o ka vacuum kiʻekiʻe, plasma a me ka halogen.
Al₂O₃ Huka Electrostatic
Hoʻomalu ʻia ka resistivity volume e ka ʻenehana coagulation ceramic a me ke kaʻina hana co-firing e loaʻa ai ka ikaika paʻa lōʻihi.
ʻO ke ʻano o loko o ka sintering wela kiʻekiʻe he paʻa a paʻa ke ʻano kristal, a hiki ke loaʻa ka mana paʻa o kahi wā wela nui.
Hoʻemi ʻia ka hoʻoheheʻe ʻana i ke ahi i hoʻohui ʻia i ka neʻe ʻana o ka ion.
ʻO ka hana mau i loko o ka ea hau halogen plasma.
AlN Electrostatic Chuck
Ma ke kaohi ʻana i ka haku mele ʻana a me ka hapa o ka mea paʻa, hiki ke hoʻomalu ʻia ka resistivity volume a hiki ke loaʻa ka paʻa paʻa i kahi wā wela nui.
Hoʻopaʻa ʻia ka mahele ʻana o ka ʻāpana wela e ka ʻenehana sintering a me ke kaʻina hana pū ʻana o nā ceramics.
Hoʻohui pū ʻia ka hoʻoheheʻe ʻana e hoʻonui i ka maikaʻi o ka huahana.
ʻO ka hana mau i loko o ka ea hau halogen plasma.
Keramics Electrostatic Chuck Me ka Heater
Hiki iā ia ke hoʻomaopopo i ka hoʻonohonoho ʻana o nā wahi wela wela, a loaʻa iā ia ka like ʻole o ka mahana wela (± 7.5% ℃@350 ℃).
Hoʻohana ʻia ka ʻenehana laminating sintering e hoʻokō i ka densification kiʻekiʻe loa a me nā mahana wela a hiki i 550 ℃.
Hoʻohui pū ʻia ka hoʻoheheʻe ʻana e hoʻonui i ka maikaʻi o ka huahana.
ʻO ka hana mau i loko o ka ea hau halogen plasma.
ʻAno Paʻakikī Electrostatic Chuck / Heater
Hiki ke hoʻohālikelike me ke silika, gallium arsenide, silicon carbide, sapphire o ka wafer clamping, hiki ke hōʻemi i nā kumukūʻai hoʻololi kelepona o nā mea hana a me nā mea hoʻohana hope. Ma muli o ka ʻenehana seramika a me ka ʻenehana hoʻololi polymer, hiki i ka hoʻohana ʻana i ka lamination vacuum i hoʻohui ʻia a me ka ʻenehana hoʻopaʻa wela e hiki ke hōʻemi i ke kūpaʻa wela o loko o ka electrostatic sucker, e hoʻokō i ka kūlike o ka mahana o loko, e hana i kahi papa insulation dielectric e hoʻomaikaʻi i ka hana kūʻē i ka neʻe ʻana.
ʻAno Paʻakikī Chuck Electrostatic
ʻO ka hoʻohana ʻana i ka ʻenehana seramika a me ka polymer hoʻololi ʻenehana, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka hoʻolālā a me ka hoʻokuʻu kinoea haʻahaʻa.
ʻOi aku ka mana o ka papa dielectric a me ka mānoanoa bank electrode.
Hiki ke kūlike ka ʻokoʻa o nā mea pipili me ka hoʻopili ʻana o nā wafers like ʻole.
Hiki ke hoʻomalu pono ʻia ka resistivity o ke kino no ka loaʻa ʻana o ka mana paʻa electrostatic ikaika.
ʻO ke kumukūʻai kiʻekiʻe, ka manawa ʻae pōkole, kūpono no ka hoʻomohala ʻana i ke kaʻina huahana a me ka hōʻoia hoʻomohala ʻana i nā mea hana hou.
ʻAno Paʻakikī Electrostatic Chuck Me ka Heater
Hiki iā ia ke hoʻomaopopo i ka hoʻolālā ʻana o nā wahi wela wela, a loaʻa iā ia ka like ʻole o ka mahana wela (± 3.5% ℃@150 ℃).
Hoʻohana ʻia ka ʻenehana laminating vacuum no ka loaʻa ʻana o ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me nā mahana wela a hiki i 200 ° C.
ʻAʻahu hoʻomehana ʻokoʻa, me kahi ākea ākea o nā ʻōkuhi wela.
ʻO ke kumukūʻai kiʻekiʻe, ka manawa ʻae pōkole, kūpono no ka hoʻomohala ʻana i ke kaʻina huahana a me ka hōʻoia hoʻomohala ʻana i nā mea hana hou.