Электростатический патрон

Категории продуктов

Рекомендуемые продукты

Детали PEEK, специализирующиеся на полупроводниках, изготавливаются по индивидуальному заказу различной формы и точности в соответствии с чертежами или образцами.

Материал PEEK - высокопроизводительный инженерный пластик с превосходной термостойкостью, химической стойкостью, механической прочностью и размерной стабильностью.

20-летний опыт работы с полупроводниковой керамикой, сверхточные направляющие из карбида кремния используются в фотолитографических машинах.

Сингапурский производитель поставляет передовые керамические балки для сверхточных подвижных платформ и инспекционного оборудования.

Композиты из углеродного волокна, используемые в авиационной, автомобильной и железнодорожной отраслях.

Керамика из оксида алюминия с превосходной стойкостью к плазменной коррозии и высокой износостойкостью

Цирконий используется для изготовления износостойких и термостойких деталей.

Керамика на основе нитрида кремния с превосходными физическими, химическими и механическими свойствами

Карбид кремния используется для изготовления коррозионно-стойких деталей, уплотнений, деталей, устойчивых к высоким температурам, направляющих и квадратных балок.

Керамика из нитрида алюминия, используемая для деталей, рассеивающих тепло и устойчивых к коррозии

0102030405

Электростатический патрон с совместимостью, высокой плотностью, высокой структурной прочностью с возможностью настройки под индивидуальные требования.

Электростатический патрон с совместимостью, высокой плотностью, высокой структурной прочностью с возможностью настройки под индивидуальные требования.

Электростатический держатель предназначен для использования в вакууме и служит для удержания и контроля температуры пластины в высоковакуумной плазме или специальной газовой среде, помогая оборудованию для обработки полупроводников изменять электрические характеристики и физическую форму отдельных участков пластины, обеспечивая выполнение ею определенных функций. Кроме того, посредством ряда других сложных и ответственных процессов пластина в конечном итоге превращается в сложную структуру интегральной схемы. Электростатический держатель и нагреватель электростатического держателя широко используются в процессе изготовления полупроводниковых сердечников и являются одними из основных компонентов таких ключевых процессов, как ионная имплантация, травление и осаждение из паровой фазы.

Связаться с нами

Описание продукта

Видео

Функции

Приложения

Lon-имплантация | Тонкие плёнки | Травление | Разработка процесса | Проектирование оборудования

Проектирование и производство

12-дюймовый Fab доставлен для проверки фактических характеристик, обеспечения регенерации и ремонта, а также проверки разработки и дизайна.

С развитием технологического оборудования и технологий производства полупроводников и интегральных схем традиционные электростатические держатели, использующие в качестве диэлектриков органические полимерные материалы, оксиды металлов и керамику, не полностью совместимы с такими материалами, как кремниевые пластины, сапфир и карбид кремния. Поэтому постепенно будут разрабатываться электростатические держатели, совместимые с захватами полупроводниковых пластин первого, второго и третьего поколений.

Полимерный электростатический патрон/нагреватель

Полимерный диэлектрик (полимер) в настоящее время является наиболее широко используемым материалом для электростатических патронов. Процесс его изготовления также является наиболее отработанным. После полимерной модификации значительно улучшаются электрические, механические, термостойкие и галогеностойкие свойства полимерного диэлектрика. Диэлектрик формируется с помощью других комплексных операций, а затем наслаивается под многоступенчатым вакуумным прессованием, образуя плотный диэлектрический изолирующий слой между внутренними электродами.

Полимерный электростатический патрон

Технология модификации полимеров используется для достижения более высокого объемного сопротивления и относительной диэлектрической проницаемости, а также получения более стабильного усилия зажима.

Диэлектрические материалы высокой плотности могут снизить риск образования твердых частиц и уменьшить подвижность ионов.

Разнообразие зажимных объектов позволяет крепить пластины из разных материалов.

Отличная коррозионная стойкость в галогенных и плазменных средах.

Высокая эффективность затрат, короткий период приемки, подходит для разработки технологических процессов и проверки разработки нового оборудования.

Полимерный электростатический патрон с нагревателем

Он может реализовать схему расположения нескольких температурных зон нагрева (до 20 температурных зон) и имеет хорошую однородность температуры нагрева (±5% ℃ при 150 ℃).

Технология вакуумного ламинирования позволяет добиться чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 200 °C.

Равномерная кривая нагрева, с более широким диапазоном настроек температурной кривой.

Керамический электростатический патрон/нагреватель

Технология керамической коагуляции представляет собой усовершенствованный процесс спекания при разработке электростатических держателей и нагревателей из оксида алюминия/нитрида алюминия. Суть технологии заключается в использовании различных керамических порошков нанометрового диаметра, которые смешиваются в определённой пропорции с помощью уникального смесительного оборудования и процесса смешивания. Керамические электростатические держатели с высокой плотностью, стабильной кристаллической структурой и равномерным распределением удельного сопротивления спекаются в спекающем оборудовании с определённой температурной кривой. Статический держатель, изготовленный по технологии керамической коагуляции, имеет высокую плотность, стабильную кристаллическую структуру и равномерное распределение объёмного удельного сопротивления и может обеспечить нормальную функцию зажима кристалла в суровых условиях высокого вакуума, плазмы и галогена.

Электростатический патрон Al₂O₃

Объемное удельное сопротивление контролируется с помощью технологии коагуляционной керамики и процесса совместного обжига для получения более длительной удерживающей силы.

Внутренняя структура высокотемпературного спекания плотная, а кристаллическая структура стабильна, что позволяет достичь удерживающей способности в более широком температурном интервале.

Интегрированная технология совместного обжига снижает миграцию ионов.

Длительная работа в плазменно-галогеновой вакуумной атмосфере.

Электростатический патрон AlN

Контролируя состав и пропорции бетонного материала, можно контролировать объемное удельное сопротивление и получать удерживающую способность в более широком диапазоне температур.

Равномерное распределение температурных зон обеспечивается технологией спекания и совместного обжига бетонной керамики.

Интегрированное совместное формование для максимального повышения качества продукции.

Длительная работа в плазменно-галогеновой вакуумной атмосфере.

Керамический электростатический патрон с нагревателем

Он может реализовать компоновку нескольких температурных зон нагрева и имеет хорошую однородность температуры нагрева (±7,5% ℃ при 350 ℃).

Технология вакуумного ламинирования и спекания используется для достижения чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 550 ℃.

Интегрированное совместное формование для максимального повышения качества продукции.

Длительная работа в плазменно-галогеновой вакуумной атмосфере.

Электростатический патрон/нагреватель сложного типа

Совместимость с кремниевыми, арсенидом галлия, карбидом кремния и сапфировыми пластинами позволяет снизить затраты производителей оборудования и конечных пользователей на замену проводов. Интегрированная технология вакуумного ламинирования и горячего соединения, основанная на технологии бетонной керамики и модификации полимеров, позволяет снизить внутреннее тепловое сопротивление электростатического присоса, добиться равномерности внутренней температуры и сформировать плотный диэлектрический изоляционный слой для повышения сопротивления миграции ионов.

Электростатический патрон сложного типа

Применение технологии модификации бетона керамикой и полимерами обеспечивает более высокую плотность структуры и пониженное газовыделение.

Более жесткий контроль толщины диэлектрического слоя и электродного блока.

Разнообразие зажимных объектов может быть совместимо с зажимом различных пластин.

Сопротивление тела можно точно контролировать, чтобы получить более высокую электростатическую удерживающую способность.

Электростатический патрон сложного типа с нагревателем

Он может реализовать компоновку нескольких температурных зон нагрева и имеет хорошую однородность температуры нагрева (±3,5% ℃ при 150 ℃).

Равномерная кривая нагрева, с более широким диапазоном настроек температурной кривой.