Электростатический патрон
Электростатический зажим, применяемый в процессах производства полупроводников.
Функции
Совместимость | Возможность индивидуальной настройки | Высокая плотность | Высокая прочность конструкции | Быстрая доставка | Экономичность
Приложения
Долговременная имплантация | Тонкие пленки | Травление | Разработка технологических процессов | Проектирование оборудования
Проектирование и производство
Для проверки фактической производительности, обеспечения регенерации и ремонта, а также проверки разработки и конструкции был поставлен 12-дюймовый модуль Fab.
В связи с развитием технологического оборудования и технологий производства полупроводников и интегральных схем, традиционные электростатические зажимы, использующие в качестве диэлектриков органические полимерные материалы, оксиды металлов и керамику, не в полной мере совместимы с такими материалами, как кремниевые пластины, сапфир и карбид кремния. Поэтому постепенно будут разрабатываться электростатические зажимы, совместимые с захватами для полупроводниковых пластин первого, второго и третьего поколений.
Полимерный электростатический патрон/нагреватель
Полимерный диэлектрический материал (полимер) в настоящее время является наиболее широко используемым материалом для электростатических зажимов, а процесс его получения также является наиболее отработанным. После модификации полимера значительно улучшаются его электрические, механические свойства, термостойкость и галогеностойкость. Диэлектрический материал формируется с помощью других интегрированных операций, а затем наносится многослойным методом вакуумной обработки под высоким давлением, образуя плотный диэлектрический изоляционный слой между внутренними электродами.
Полимерный электростатический зажим
Технология модификации полимеров используется для достижения более высокого удельного сопротивления и относительной диэлектрической постоянной, а также для получения более стабильной силы зажима.
Диэлектрические материалы высокой плотности могут снизить риск образования твердых частиц и уменьшить подвижность ионов.
Разнообразие зажимаемых объектов позволяет использовать их для зажима пластин из различных материалов.
Превосходная коррозионная стойкость в галогенных и плазменных атмосферах.
Высокая экономическая эффективность, короткий срок приемки, подходит для разработки технологических процессов и проверки новых разработок оборудования.
Полимерный электростатический патрон с нагревателем
Она позволяет создавать многозонный нагрев (до 20 температурных зон) и обеспечивает высокую равномерность температуры (±5%℃ при 150℃).
Технология вакуумного ламинирования используется для достижения чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 200 °C.
Равномерная кривая нагрева с более широким диапазоном настроек температурной кривой.
Высокая экономическая эффективность, короткий срок приемки, подходит для разработки технологических процессов и проверки новых разработок оборудования.
Керамический электростатический патрон/нагреватель
Технология керамической коагуляции — это усовершенствованный процесс спекания при разработке электростатических зажимных устройств и нагревателей из керамических материалов на основе оксида алюминия/нитрида алюминия. Ее суть заключается в использовании различных керамических порошков нанометрового диаметра, которые смешиваются в определенной пропорции с помощью уникального смесительного оборудования и процесса смешивания. Керамические электростатические зажимные устройства с высокой плотностью, стабильной кристаллической структурой и равномерным распределением удельного сопротивления спекаются при определенной температурной кривой спекания в спекательном оборудовании. Статические зажимные устройства, изготовленные с использованием технологии керамической коагуляции, обладают высокой плотностью, стабильной кристаллической структурой и равномерным распределением удельного сопротивления в объеме, и могут обеспечивать нормальную функцию зажима стружки в суровых условиях, таких как высокий вакуум, плазма и галогены.
Электростатический зажим Al₂O₃
Объемное удельное сопротивление регулируется с помощью технологии коагуляции керамики и процесса совместного обжига для достижения большей удерживающей силы.
Внутренняя структура при высокотемпературном спекании плотная, кристаллическая структура стабильна, что позволяет получить материал с большей температурной стойкостью.
Интегрированное совместное обжиговое формование снижает миграцию ионов.
Длительная работа в вакуумной атмосфере, обогащенной галогенами и плазмой.
Электростатический зажим из нитрида алюминия (AlN)
Контролируя состав и пропорции бетонного материала, можно регулировать удельное сопротивление и получать несущую способность в более широком температурном диапазоне.
Равномерное распределение температурных зон обеспечивается технологией спекания и процессом совместного обжига бетонной керамики.
Интегрированная технология совместного обжига для максимального повышения качества продукции.
Длительная работа в вакуумной атмосфере, обогащенной галогенами и плазмой.
Керамический электростатический патрон с нагревателем
Она позволяет создавать многозонный нагрев и обеспечивает высокую равномерность температуры (±7,5%℃ при 350℃).
Технология вакуумного ламинирования и спекания используется для достижения чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 550℃.
Интегрированная технология совместного обжига для максимального повышения качества продукции.
Длительная работа в вакуумной атмосфере, обогащенной галогенами и плазмой.
Электростатический патрон/нагреватель сложного типа
Совместимость с кремнием, арсенидом галлия, карбидом кремния, сапфиром при зажиме пластин позволяет снизить затраты на замену проводов для производителей оборудования и конечных пользователей. Благодаря использованию технологии бетонной керамики и технологии модификации полимеров, а также интегрированной технологии вакуумного ламинирования и горячего соединения, снижается внутреннее тепловое сопротивление электростатического присоса, достигается равномерность внутренней температуры, формируется плотный диэлектрический изоляционный слой, улучшающий сопротивление миграции ионов.
Электростатический зажим сложного типа
Использование технологии модификации бетона керамикой и полимерами обеспечивает более высокую плотность структуры и меньшее газообразование.
Более точный контроль толщины диэлектрического слоя и электродной батареи.
Разнообразие зажимаемых объектов позволяет использовать их для зажима различных кремниевых пластин.
Сопротивление тела можно точно контролировать для достижения более высокой электростатической удерживающей способности.
Высокая экономическая эффективность, короткий срок приемки, подходит для разработки технологических процессов и проверки новых разработок оборудования.
Электростатический патрон сложного типа с нагревателем
Она позволяет создавать многозонный нагрев и обеспечивает высокую равномерность температуры (±3,5%℃ при 150℃).
Технология вакуумного ламинирования используется для достижения чрезвычайно высокой плотности и температуры нагрева до 200 °C.
Равномерная кривая нагрева с более широким диапазоном настроек температурной кривой.
Высокая экономическая эффективность, короткий срок приемки, подходит для разработки технологических процессов и проверки новых разработок оборудования.