Функции
Совместимость | Настройка | Высокая плотность | Высокая структурная прочность | Быстрая доставка | Экономически эффективным
Приложения
Лон-имплантация | Тонкая пленка | травление | Разработка процессов | Проектирование оборудования
Проектирование и производство
12-дюймовый Fab доставлен для проверки фактической производительности, обеспечения регенерации и ремонта, а также проверки разработки и конструкции.
С развитием технологического оборудования и технологий производства полупроводников и интегральных схем традиционные электростатические патроны, использующие органические полимерные материалы, оксиды металлов и керамические материалы в качестве диэлектриков, не полностью совместимы с такими материалами, как кремниевые пластины, сапфир и карбид кремния. Таким образом, постепенно будут разрабатываться электростатические патроны, совместимые с захватами полупроводниковых пластин первого, второго и третьего поколений.
Полимерный электростатический патрон/нагреватель
Полимерный диэлектрический материал (полимер) в настоящее время является наиболее широко используемым электростатическим патронным материалом, процесс его приготовления также является наиболее зрелым, полимерный диэлектрический материал после обработки модификацией полимера, электрическая, механическая, термостойкость, свойства устойчивости к галогенам будут значительно улучшены. Диэлектрический материал формируется с помощью других комплексных операций, а затем наслаивается многоступенчатой вакуумной тяжелой нагрузкой, и между внутренними электродами образуется плотный диэлектрический изоляционный слой.
Полимерный электростатический патрон
Технология модификации полимера используется для достижения более высокого объемного удельного сопротивления и относительной диэлектрической проницаемости, а также для получения более стабильной силы зажима.
Диэлектрические материалы высокой плотности могут снизить риск образования твердых частиц и снизить подвижность ионов.
Разнообразие зажимных объектов может быть совместимо с зажимом пластин из разных материалов.
Отличная коррозионная стойкость в галогенной и плазменной атмосфере.
Высокая себестоимость, короткий период приемки, подходит для разработки процесса производства продукта и проверки разработки нового оборудования.
Al₂O₃ Электростатический патрон
Объемное сопротивление контролируется с помощью технологии коагуляции керамики и процесса совместного обжига для достижения большей удерживающей силы.
Внутренняя структура высокотемпературного спекания плотная, кристаллическая структура стабильна, и можно получить удерживающую способность в более широком температурном интервале.
Интегрированное совместное формование снижает миграцию ионов.
Длительная работа в плазменно-галогенной вакуумной атмосфере.