Heim
Vörur
Rafstöðueiginleiki með eindrægni, hárþéttleika, háum burðarstyrk með sérsniðnum
Eiginleikar
Samhæfni | Sérsnið | Háþéttleiki | Hár byggingarstyrkur | Fljótur afhendingartími | Arðbærar
Umsóknir
Lon-ígræðsla | Þunn kvikmynd | Æsa | Ferlaþróun | Tækjahönnun
Hönnun og framleiðsla
12 tommu Fab afhent til að sannreyna raunverulegan árangur, veita endurnýjun og viðgerðir og sannreyna þróun og hönnun.
Með vinnslubúnaði og vinnslutækniþróun hálfleiðara og samþættrar hringrásar, eru hefðbundnar rafstöðueiginleikar sem nota lífræn fjölliðaefni, málmoxíð og keramikefni sem rafeindaefni ekki fullkomlega samhæfð við efni eins og kísilskífur, safír og kísilkarbíð. Þess vegna munu rafstöðueiginleikar sem eru samhæfðir fyrstu, annarri og þriðju kynslóð hálfleiðara obláturgripa þróast smám saman.
Polymer rafstöðueiginleiki / hitari
Polymer dilectric efni (Polymer) er eins og er mest notað rafstöðueiginleikar chuck efni, undirbúningsferli þess er einnig þroskaðasta, fjölliða dilectric efni eftir fjölliða breytingar meðhöndlun, rafmagns, vélrænni, hitastig viðnám, halógen viðnám eiginleika mun batna til muna. Rafmagnsefnið er mynstrað með öðrum samþættum aðgerðum og síðan lagskipt með fjölþrepa lofttæmisálagi og þétt rafeinangrunarlag myndast á milli innri rafskautanna.
Polymer rafstöðueiginleiki
Fjölliðabreytingartæknin er notuð til að ná hærri magnviðnám og hlutfallslegan rafstuðul og fá stöðugri klemmukraft.
Rafmagnsefni með miklum þéttleika geta dregið úr hættu á svifryki og dregið úr hreyfanleika jóna.
Fjölbreytileiki klemmuhluta getur verið samhæfður við klemmu á diskum úr mismunandi efnum.
Frábær tæringarþol í halógen og plasma andrúmslofti.
Mikill kostnaður, stuttur staðfestingartími, hentugur fyrir þróun vöruferlis og sannprófun á þróun nýs búnaðar.
Polymer rafstöðueiginleiki með hitara
Það getur gert sér grein fyrir skipulagi margra hitastigssvæða (allt að 20 hitastigssvæði) og hefur góða einsleitni hitastigs (± 5% ℃ @ 150 ℃).
Vacuum laminating tækni er notuð til að ná mjög háum þéttleika og hitastig allt að 200 ° C.
Samræmd hitunarferill, með fjölbreyttari hitaferilstillingum.
Mikill kostnaður, stuttur staðfestingartími, hentugur fyrir þróun vöruferlis og sannprófun á þróun nýs búnaðar.
Keramik rafstöðueiginleiki / hitari
Keramik storknunartækni er endurbætt sintunarferli við þróun á áli/álnítríð keramik rafstöðueiginleikar og hitara. Kjarni þess er að nota margs konar nanómetra þvermál keramikduft, sem er blandað í ákveðnu hlutfalli í gegnum einstakan blöndunarbúnað og blöndunarferli. Keramik rafstöðueiginleikar með miklum þéttleika, stöðugri kristalbyggingu og samræmdri viðnámsdreifingu voru hertuð með ákveðnum sintunarhitaferli í sintubúnaði. Stöðugur chuck framleiddur með keramik storknunartækni hefur mikla þéttleika, stöðuga kristalbyggingu og samræmda rúmmálsviðnámsdreifingu og getur gert sér grein fyrir eðlilegri klemmuvirkni flíssins í erfiðu umhverfi undir miklu lofttæmi, plasma og halógeni.
Al₂O₃ rafstöðueiginleiki
Rúmmálsviðnáminu er stjórnað með storkukeramiktækni og sambrennsluferli til að fá lengri haldkraft.
Innri uppbygging háhita sintunar er þétt og kristalbyggingin er stöðug og hægt er að ná geymslugetu á stærra hitabili.
Innbyggt sambrennandi mótun dregur úr jónaflutningi.
Varanleg aðgerð í plasma halógen lofttæmi.
AlN rafstöðueiginleiki
Með því að stjórna samsetningu og hlutfalli steypuefnisins er hægt að stjórna rúmmálsviðnáminu og fá haldþol í stærra hitabili.
Samræmd hitasvæðisdreifing er tryggð með hertutækni og sambrennsluferli steypukeramik.
Innbyggt sambrennandi mótun til að hámarka gæði vöru.
Varanleg aðgerð í plasma halógen lofttæmi.
Keramik rafstöðueiginleiki með hitara
Það getur gert sér grein fyrir skipulagi margra hitunarhitasvæða og hefur góða einsleitni hitastigs (±7,5% ℃ @ 350 ℃).
Vacuum laminating sinter tækni er notuð til að ná afar mikilli þéttingu og hitunarhita allt að 550 ℃.
Innbyggt sambrennandi mótun til að hámarka gæði vöru.
Varanleg aðgerð í plasma halógen lofttæmi.
Flókin gerð rafstöðueiginleikar / hitari
Getur verið samhæft við kísill, gallíumarseníð, kísilkarbíð, safír úr obláta klemmu, getur dregið úr vírskiptakostnaði búnaðarframleiðenda og notenda. Byggt á steypu keramiktækni og fjölliðabreytingartækni, getur notkun samþættrar lofttæmislaminunar og heittengingartækni dregið úr innri hitauppstreymi rafstöðueiginleika sogs, náð innri hitastigi einsleitni, myndað þétt dielectric einangrunarlag til að bæta frammistöðu jónaflæðisviðnáms.
Flókið rafstöðueigið
Notkun steypu keramik og fjölliða breytingar tækni, hefur hærri þétt uppbyggingu og minni gas losun.
Sterkari stjórn á rafskautslagi og rafskautabankaþykkt.
Fjölbreytileiki klemmuhluta getur verið samhæfður við klemmu mismunandi obláta.
Viðnám líkamans er hægt að stjórna nákvæmlega til að fá sterkari rafstöðueiginleika.
Mikill kostnaður, stuttur staðfestingartími, hentugur fyrir þróun vöruferlis og sannprófun á þróun nýs búnaðar.
Flókið rafstöðueigið með hitara
Það getur gert sér grein fyrir skipulagi margra hitastigssvæða og hefur góða einsleitni hitastigs (±3,5% ℃ @ 150 ℃).
Vacuum laminating tækni er notuð til að ná mjög háum þéttleika og hitastig allt að 200 ° C.
Samræmd hitunarferill, með fjölbreyttari hitaferilstillingum.
Mikill kostnaður, stuttur staðfestingartími, hentugur fyrir þróun vöruferlis og sannprófun á þróun nýs búnaðar.