Mandrino elettrostatico
Mandrino elettrostatico applicato nei processi di produzione di semiconduttori
Caratteristiche
Compatibilità | Personalizzazione | Alta densità | Elevata resistenza strutturale | Tempi di consegna rapidi | Conveniente
Applicazioni
Impianto Lon | Film sottile | Incisione | Sviluppo del processo | Progettazione delle apparecchiature
Progettazione e produzione
Fab da 12 pollici consegnato per verificare le prestazioni effettive, fornire rigenerazione e riparazione e verificare lo sviluppo e la progettazione.
Con lo sviluppo delle apparecchiature e delle tecnologie di processo per semiconduttori e circuiti integrati, i tradizionali mandrini elettrostatici che utilizzano materiali polimerici organici, ossidi metallici e materiali ceramici come dielettrici non sono più pienamente compatibili con materiali come wafer di silicio, zaffiro e carburo di silicio. Pertanto, si svilupperanno gradualmente mandrini elettrostatici compatibili con le pinze per wafer di semiconduttori di prima, seconda e terza generazione.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico in polimero
Il materiale dielettrico polimerico (polimero) è attualmente il materiale per mandrini elettrostatici più utilizzato. Il suo processo di preparazione è anche il più maturo. Dopo il trattamento di modificazione polimerica, le proprietà elettriche, meccaniche, di resistenza alla temperatura e agli alogeni saranno notevolmente migliorate. Il materiale dielettrico viene modellato tramite altre operazioni integrate e quindi stratificato mediante vuoto multistadio a carico elevato, formando uno strato dielettrico denso e isolante tra gli elettrodi interni.
Mandrino elettrostatico polimerico
La tecnologia di modifica dei polimeri viene utilizzata per ottenere una maggiore resistività di massa e una costante dielettrica relativa, nonché una forza di serraggio più stabile.
I materiali dielettrici ad alta densità possono ridurre il rischio di particolato e la mobilità degli ioni.
La varietà degli oggetti di serraggio può essere compatibile con il serraggio di wafer di materiali diversi.
Eccellente resistenza alla corrosione in atmosfere alogene e al plasma.
Elevato rapporto costi-prestazioni, breve periodo di accettazione, adatto allo sviluppo del processo di prodotto e alla verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino elettrostatico in polimero con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento (fino a 20 zone di temperatura) e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±5%℃@150℃).
La tecnologia di laminazione sotto vuoto viene utilizzata per ottenere densità estremamente elevate e temperature di riscaldamento fino a 200 °C.
Curva di riscaldamento uniforme, con una gamma più ampia di impostazioni della curva di temperatura.
Elevato rapporto costi-prestazioni, breve periodo di accettazione, adatto allo sviluppo del processo di prodotto e alla verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino/Riscaldatore elettrostatico in ceramica
La tecnologia di coagulazione ceramica è un processo di sinterizzazione migliorato per lo sviluppo di mandrini e riscaldatori elettrostatici in ceramica di allumina/nitruro di alluminio. Il suo fulcro è l'utilizzo di una varietà di polveri ceramiche di diametro nanometrico, miscelate in una determinata proporzione tramite un'apparecchiatura e un processo di miscelazione esclusivi. I mandrini elettrostatici in ceramica, caratterizzati da elevata densità, struttura cristallina stabile e distribuzione uniforme della resistività, sono stati sinterizzati con una specifica curva di temperatura di sinterizzazione in un'apparecchiatura di sinterizzazione. Il mandrino statico prodotto con la tecnologia di coagulazione ceramica presenta elevata densità, struttura cristallina stabile e distribuzione uniforme della resistività di volume, ed è in grado di realizzare la normale funzione di serraggio del chip in ambienti difficili come il vuoto spinto, il plasma e le lampade alogene.
Mandrino elettrostatico Al₂O₃
La resistività del volume è controllata dalla tecnologia della ceramica di coagulazione e dal processo di co-cottura per ottenere una forza di tenuta più lunga.
La struttura interna della sinterizzazione ad alta temperatura è densa e la struttura cristallina è stabile, consentendo di ottenere la capacità di mantenimento di un intervallo di temperatura più ampio.
Lo stampaggio con co-cottura integrata riduce la migrazione degli ioni.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma e alogeno.
Mandrino elettrostatico AlN
Controllando la composizione e la proporzione del materiale di calcestruzzo, è possibile controllare la resistività del volume e ottenere la capacità di tenuta in un intervallo di temperatura più ampio.
La distribuzione uniforme della temperatura nelle zone è garantita dalla tecnologia di sinterizzazione e dal processo di co-cottura della ceramica per calcestruzzo.
Stampaggio a co-cottura integrato per massimizzare la qualità del prodotto.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma e alogeno.
Mandrino elettrostatico in ceramica con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±7,5%℃@350℃).
La tecnologia di sinterizzazione mediante laminazione sotto vuoto viene utilizzata per raggiungere temperature di densificazione e riscaldamento estremamente elevate, fino a 550°C.
Stampaggio a co-cottura integrato per massimizzare la qualità del prodotto.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma e alogeno.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico di tipo complesso
Compatibile con silicio, arseniuro di gallio, carburo di silicio e zaffiro per il serraggio dei wafer, può ridurre i costi di sostituzione dei fili per i produttori di apparecchiature e gli utenti finali. Basato sulla tecnologia della ceramica concreta e sulla tecnologia di modifica dei polimeri, l'uso della laminazione sotto vuoto integrata e della tecnologia di saldatura a caldo può ridurre la resistenza termica interna della ventosa elettrostatica, ottenere uniformità di temperatura interna e formare uno strato dielettrico denso per migliorare le prestazioni di resistenza alla migrazione ionica.
Mandrino elettrostatico di tipo complesso
L'uso della tecnologia di modifica del calcestruzzo, della ceramica e dei polimeri, ha una struttura più densa e un minore rilascio di gas.
Controllo più rigoroso dello strato dielettrico e dello spessore della batteria di elettrodi.
La varietà degli oggetti di serraggio può essere compatibile con il serraggio di wafer diversi.
La resistività del corpo può essere controllata con precisione per ottenere una maggiore capacità di ritenzione elettrostatica.
Elevato rapporto costi-prestazioni, breve periodo di accettazione, adatto allo sviluppo del processo di prodotto e alla verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino elettrostatico di tipo complesso con riscaldatore
Può realizzare la disposizione di più zone di temperatura di riscaldamento e ha una buona uniformità della temperatura di riscaldamento (±3,5%℃@150℃).
La tecnologia di laminazione sotto vuoto viene utilizzata per ottenere densità estremamente elevate e temperature di riscaldamento fino a 200 °C.
Curva di riscaldamento uniforme, con una gamma più ampia di impostazioni della curva di temperatura.
Elevato rapporto costi-prestazioni, breve periodo di accettazione, adatto allo sviluppo del processo di prodotto e alla verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.