Caratteristiche
Compatibilità | Personalizzazione | Alta densità | Elevata resistenza strutturale | Tempi di consegna rapidi | Conveniente
Applicazioni
Impianto Lon | Pellicola sottile | Acquaforte | Sviluppo del processo | Progettazione di apparecchiature
Progettazione e produzione
Fab da 12 pollici consegnato per verificare le prestazioni effettive, fornire rigenerazione e riparazione e verificare lo sviluppo e la progettazione.
Con lo sviluppo delle apparecchiature di processo e della tecnologia di processo di semiconduttori e circuiti integrati, i tradizionali mandrini elettrostatici che utilizzano materiali polimerici organici, ossidi metallici e materiali ceramici come dielettrici non sono completamente compatibili con materiali come wafer di silicio, zaffiro e carburo di silicio. Pertanto, si svilupperanno gradualmente mandrini elettrostatici compatibili con le pinze per wafer semiconduttori di prima, seconda e terza generazione.
Mandrino/riscaldatore elettrostatico polimerico
Il materiale dielettrico polimerico (polimero) è attualmente il materiale del mandrino elettrostatico più utilizzato, il suo processo di preparazione è anche il materiale dielettrico polimerico più maturo dopo il trattamento di modifica del polimero, le proprietà elettriche, meccaniche, di resistenza alla temperatura e di resistenza agli alogeni saranno notevolmente migliorate. Il materiale dielettrico viene modellato mediante altre operazioni integrate, quindi stratificato mediante carico pesante sotto vuoto multistadio e tra gli elettrodi interni viene formato un denso strato di isolamento dielettrico.
Mandrino elettrostatico polimerico
La tecnologia di modifica del polimero viene utilizzata per ottenere una maggiore resistività di massa e costante dielettrica relativa e ottenere una forza di serraggio più stabile.
I materiali dielettrici ad alta densità possono ridurre il rischio di particolato e ridurre la mobilità ionica.
La diversità degli oggetti di bloccaggio può essere compatibile con il bloccaggio di wafer di materiali diversi.
Eccellente resistenza alla corrosione in atmosfere alogene e al plasma.
Prestazioni ad alto costo, breve periodo di accettazione, adatto per lo sviluppo del processo del prodotto e la verifica dello sviluppo di nuove apparecchiature.
Mandrino elettrostatico Al₂O₃
La resistività del volume è controllata dalla tecnologia della ceramica di coagulazione e dal processo di co-cottura per ottenere una forza di tenuta più lunga.
La struttura interna della sinterizzazione ad alta temperatura è densa e la struttura cristallina è stabile ed è possibile ottenere la capacità di ritenzione di un intervallo di temperatura più ampio.
Lo stampaggio a co-combustione integrato riduce la migrazione degli ioni.
Funzionamento duraturo in atmosfera di vuoto al plasma alogeno.