Jellemzők
Kompatibilitás | Testreszabás | Nagy sűrűségű | Nagy szerkezeti szilárdság | Gyors szállítási idő | Költséghatékony
Alkalmazások
Hosszú beültetés | Vékony film | Etch | Folyamatfejlesztés | Berendezés tervezés
Tervezés és gyártás
12 hüvelykes Fab a tényleges teljesítmény ellenőrzésére, regenerálásra és javításra, valamint a fejlesztés és a tervezés ellenőrzésére.
A félvezető és integrált áramkörök technológiai és technológiai fejlesztésével a hagyományos elektrosztatikus tokmányok, amelyek dielektrikumként szerves polimer anyagokat, fém-oxidokat és kerámia anyagokat használnak, nem teljesen kompatibilisek olyan anyagokkal, mint a szilícium lapkák, zafír és szilícium-karbid. Ezért fokozatosan kifejlesztik az első, második és harmadik generációs félvezető lapka megfogókkal kompatibilis elektrosztatikus tokmányokat.
Polimer elektrosztatikus tokmány / fűtés
A polimer dielektromos anyag (Polymer) jelenleg a legszélesebb körben használt elektrosztatikus tokmányanyag, az előállítási folyamata is a legérettebb, polimer dielektromos anyag a polimer módosítási kezelés után, az elektromos, mechanikai, hőmérséklet-állóság, halogénállóság tulajdonságai jelentősen javulnak. A dielektromos anyagot egyéb integrált műveletekkel mintázzák, majd többlépcsős vákuumterheléssel rétegezik, és a belső elektródák között sűrű dielektromos szigetelőréteget alakítanak ki.
Polimer elektrosztatikus tokmány
A polimer módosítási technológiát a nagyobb térfogati ellenállás és relatív dielektromos állandó elérése, valamint stabilabb szorítóerő elérése érdekében használják.
A nagy sűrűségű dielektromos anyagok csökkenthetik a részecskék kialakulásának kockázatát és az ionok mobilitását.
A befogó tárgyak sokfélesége összeegyeztethető a különböző anyagokból készült ostyák befogásával.
Kiváló korrózióállóság halogén és plazma légkörben.
Magas költséghatékonyság, rövid átvételi idő, alkalmas termékfolyamatok fejlesztésére és új berendezések fejlesztésének ellenőrzésére.
Al₂O3 Elektrosztatikus tokmány
A térfogati ellenállást a koagulációs kerámia technológia és az együttégetési eljárás szabályozza a hosszabb tartóerő elérése érdekében.
A magas hőmérsékletű szinterezés belső szerkezete sűrű, kristályszerkezete stabil, és nagyobb hőmérsékleti intervallum tartóképessége érhető el.
Az integrált együttégető öntés csökkenti az ionok migrációját.
Tartós működés plazma halogén vákuum atmoszférában.