Caractéristiques
Compatibilité | Personnalisation | Haute densité | Haute résistance structurelle | Délai de livraison rapide | Rentable
Applications
Lon-implantation | Couche mince | Gravure | Développement de processus | Conception d'équipement
Conception et fabrication
Fab de 12 pouces livré pour vérifier les performances réelles, assurer la régénération et la réparation, ainsi que vérifier le développement et la conception.
Avec le développement des équipements de traitement et de la technologie de traitement des semi-conducteurs et des circuits intégrés, les mandrins électrostatiques traditionnels utilisant des matériaux polymères organiques, des oxydes métalliques et des matériaux céramiques comme diélectriques ne sont pas entièrement compatibles avec des matériaux tels que les plaquettes de silicium, le saphir et le carbure de silicium. Par conséquent, des mandrins électrostatiques compatibles avec les pinces pour plaquettes semi-conductrices de première, deuxième et troisième générations se développeront progressivement.
Mandrin/chauffage électrostatique en polymère
Le matériau diélectrique polymère (polymère) est actuellement le matériau de mandrin électrostatique le plus largement utilisé, son processus de préparation est également le matériau diélectrique polymère le plus mature après le traitement de modification du polymère, les propriétés électriques, mécaniques, de résistance à la température et de résistance aux halogènes seront grandement améliorées. Le matériau diélectrique est modelé par d'autres opérations intégrées, puis superposé par une charge lourde sous vide à plusieurs étages, et une couche d'isolation diélectrique dense est formée entre les électrodes internes.
Mandrin électrostatique en polymère
La technologie de modification des polymères est utilisée pour obtenir une résistivité globale et une constante diélectrique relative plus élevées, ainsi qu'une force de serrage plus stable.
Les matériaux diélectriques haute densité peuvent réduire le risque de particules et réduire la mobilité des ions.
La diversité des objets de serrage peut être compatible avec le serrage de tranches de matériaux différents.
Excellente résistance à la corrosion en atmosphère halogène et plasma.
Performances élevées, période d'acceptation courte, adaptées au développement de processus de produits et à la vérification du développement de nouveaux équipements.
Mandrin électrostatique Al₂O₃
La résistivité volumique est contrôlée par la technologie céramique de coagulation et le processus de co-cuisson pour obtenir une force de maintien plus longue.
La structure interne du frittage à haute température est dense et la structure cristalline est stable, et la capacité de rétention d'un intervalle de température plus grand peut être obtenue.
Le moulage par co-cuisson intégré réduit la migration des ions.
Fonctionnement durable dans une atmosphère sous vide plasma halogène.