Koti
Tuotteet
0102030405
Yhteensopiva sähköstaattinen istukka, suuritiheys, korkea rakenteellinen lujuus ja räätälöity
ominaisuudet
Yhteensopivuus | Räätälöinti | Suuritiheys | Suuri rakenteellinen lujuus | Nopea toimitusaika | Kustannustehokas
Sovellukset
Pitkä istutus | Ohut kalvo | Etch | Prosessin kehittäminen | Laitteiden suunnittelu
Suunnittelu ja valmistus
12 tuuman Fab toimitetaan todellisen suorituskyvyn tarkistamiseen, regenerointiin ja korjaukseen sekä kehityksen ja suunnittelun tarkistamiseen.
Puolijohteiden ja integroitujen piirien prosessilaitteiden ja prosessiteknologian kehityksen myötä perinteiset sähköstaattiset istukat, joissa käytetään orgaanisia polymeerimateriaaleja, metallioksideja ja keraamisia materiaaleja eristeenä, eivät ole täysin yhteensopivia tällaisten materiaalien, kuten piikiekkojen, safiirin ja piikarbidin, kanssa. Siksi ensimmäisen, toisen ja kolmannen sukupolven puolijohdekiekkojen tarttujan kanssa yhteensopivia sähköstaattisia istukat kehittyvät vähitellen.
Polymeeri sähköstaattinen istukka / lämmitin
Polymeeridielektrinen materiaali (polymeeri) on tällä hetkellä yleisimmin käytetty sähköstaattinen istukkamateriaali, sen valmistusprosessi on myös kypsin, polymeeridielektrinen materiaali polymeerin modifiointikäsittelyn jälkeen, sähköiset, mekaaniset, lämpötilankesto-, halogeeninkestävyysominaisuudet paranevat huomattavasti. Dielektrinen materiaali kuvioillaan muilla integroiduilla toimenpiteillä ja kerrostetaan sitten monivaiheisella tyhjiökuormalla, ja sisäisten elektrodien väliin muodostuu tiheä dielektrinen eristekerros.
Polymeeri sähköstaattinen istukka
Polymeerimodifikaatioteknologiaa käytetään korkeamman bulkkiresistiivisyyden ja suhteellisen dielektrisyysvakion saavuttamiseen sekä vakaamman puristusvoiman saamiseksi.
Suuritiheyksiset dielektriset materiaalit voivat vähentää hiukkasten riskiä ja vähentää ionien liikkuvuutta.
Kiinnitysobjektien monimuotoisuus voi olla yhteensopiva eri materiaaleista valmistettujen kiekkojen kiinnityksen kanssa.
Erinomainen korroosionkestävyys halogeeni- ja plasmailmakehissä.
Korkea kustannustehokkuus, lyhyt hyväksymisaika, sopii tuoteprosessien kehittämiseen ja uusien laitteiden kehittämiseen.
Polymeeri sähköstaattinen istukka lämmittimellä
Se voi toteuttaa useiden lämmityslämpötilavyöhykkeiden asettelun (jopa 20 lämpötilavyöhykettä), ja sillä on hyvä lämmityslämpötilan tasaisuus (±5% ℃ @ 150 ℃).
Tyhjölaminointitekniikkaa käytetään erittäin korkean tiheyden ja lämmityslämpötilan saavuttamiseen jopa 200 °C asti.
Tasainen lämpökäyrä, laajemmalla lämpötilakäyrällä Asetukset.
Korkea kustannustehokkuus, lyhyt hyväksymisaika, sopii tuoteprosessien kehittämiseen ja uusien laitteiden kehittämiseen.
Keramiikka Sähköstaattinen istukka / lämmitin
Keraaminen koagulointitekniikka on parannettu sintrausprosessi alumiinioksidi/alumiininitridi-keraamisten sähköstaattisten istukka- ja lämmittimien kehittämisessä. Sen ydin on käyttää erilaisia nanometrihalkaisijaltaan olevia keraamisia jauheita, jotka sekoitetaan tietyssä suhteessa ainutlaatuisen sekoituslaitteiston ja sekoitusprosessin avulla. Keraamiset sähköstaattiset istukat, joilla oli suuri tiheys, vakaa kiderakenne ja tasainen ominaisvastusjakauma, sintrattiin tietyllä sintrauslämpötilakäyrällä sintrauslaitteissa. Keraamisella koagulaatioteknologialla valmistetulla staattisella istukalla on korkea tiheys, vakaa kiderakenne ja tasainen tilavuusvastusjakauma, ja se voi toteuttaa sirun normaalin puristustoiminnon ankarissa olosuhteissa korkeassa tyhjiössä, plasmassa ja halogeenissa.
Al₂O3 Sähköstaattinen istukka
Tilavuusvastusta säädetään koagulaatiokeraamitekniikalla ja yhteispolttoprosessilla pidemmän pitovoiman saamiseksi.
Korkean lämpötilan sintrauksen sisäinen rakenne on tiheä ja kiderakenne vakaa, ja voidaan saavuttaa suuremman lämpötilavälin pitokyky.
Integroitu rinnakkaispolttomuovaus vähentää ionien kulkeutumista.
Kestävä käyttö plasmahalogeeni-tyhjiöilmakehässä.
AlN sähköstaattinen istukka
Säätämällä betonimateriaalin koostumusta ja osuutta voidaan hallita tilavuusvastusta ja saada pitokykyä suuremmalla lämpötilavälillä.
Tasainen lämpötilavyöhykejakauma varmistetaan betonikeraamien sintraustekniikalla ja rinnakkaispolttoprosessilla.
Integroitu rinnakkaispolttomuovaus tuotteen laadun maksimoimiseksi.
Kestävä käyttö plasmahalogeeni-tyhjiöilmakehässä.
Keraaminen sähköstaattinen istukka lämmittimellä
Se voi toteuttaa useiden lämmityslämpötilavyöhykkeiden asettelun, ja sillä on hyvä lämmityslämpötilan tasaisuus (±7,5% ℃ @ 350 ℃).
Tyhjölaminointisintraustekniikkaa käytetään erittäin korkeiden tiivistys- ja kuumennuslämpötilojen saavuttamiseen 550 ℃ asti.
Integroitu rinnakkaispolttomuovaus tuotteen laadun maksimoimiseksi.
Kestävä käyttö plasmahalogeeni-tyhjiöilmakehässä.
Monimutkainen tyyppi sähköstaattinen istukka / lämmitin
Voi olla yhteensopiva piin, galliumarsenidin, piikarbidin, kiekkojen kiinnityssafiirin kanssa, voi vähentää laitevalmistajien ja loppukäyttäjien langanvaihtokustannuksia. Betonikeraamiseen tekniikkaan ja polymeerimuunnostekniikkaan perustuen integroidun tyhjiölaminoinnin ja kuumaliitostekniikan käyttö voi vähentää sähköstaattisen imevän sisäistä lämpövastusta, saavuttaa sisäisen lämpötilan tasaisuuden, muodostaa tiheän dielektrisen eristekerroksen ionien migraatiovastuksen parantamiseksi.
Kompleksityyppinen sähköstaattinen istukka
Betonikeramiikka- ja polymeerimuunnostekniikan käyttö on tiheämpää ja kaasun vapautumista pienempi.
Tiukempi dielektrisen kerroksen ja elektrodipankin paksuuden hallinta.
Kiinnitysobjektien monimuotoisuus voi olla yhteensopiva erilaisten kiekkojen kiinnityksen kanssa.
Rungon resistiivisyyttä voidaan säätää tarkasti, jotta saadaan vahvempi sähköstaattinen pitokapasiteetti.
Korkea kustannustehokkuus, lyhyt hyväksymisaika, sopii tuoteprosessien kehittämiseen ja uusien laitteiden kehittämiseen.
Monimutkainen tyyppinen sähköstaattinen istukka lämmittimellä
Se voi toteuttaa useiden lämmityslämpötilavyöhykkeiden asettelun, ja sillä on hyvä lämmityslämpötilan tasaisuus (±3,5% ℃ @ 150 ℃).
Tyhjölaminointitekniikkaa käytetään erittäin korkean tiheyden ja lämmityslämpötilan saavuttamiseen jopa 200 °C asti.
Tasainen lämpökäyrä, laajemmalla lämpötilakäyrällä Asetukset.
Korkea kustannustehokkuus, lyhyt hyväksymisaika, sopii tuoteprosessien kehittämiseen ja uusien laitteiden kehittämiseen.