itthon
Fő termék
Négyszögletes gerenda és vezetősín rendkívül precíziós mozgási platformhoz és érzékelő berendezésekhez
A vákuum tokmány szerelvényt példának vesszük, a legkorábbi 2 hüvelykes és 4 hüvelykes ostyakorszakban a repülőgépalumíniumot használtak, de a nagy méretek korában találkozott az ultramagas laposság (jobb, mint 1 mikron) szűk keresztmetszetével. ostyák (8 "és több mint 8"), amelyek nem felelnek meg az ultramagas laposság kemény indexének, és ki vannak iktatva. Következő, timföld anyag, mint átmenet, rugalmassági modulusa, könnyű súlya, hővezető képessége és tágulási együtthatója és a szilícium-karbid törpe, de nem valami kínos; A nagyméretű és összetett, speciális alakú, üreges szerkezetű szilícium-karbid kerámiák előkészítési technológiájában bekövetkezett áttörést követően az alkatrészeket, köztük az ultraprecíziós munkadarab-alapot, az ultraprecíziós légúszóvezetőt és az ostyaátviteli kart is továbbfejlesztették.
Nem csak a fent említett szilícium-karbid kerámia alkatrészek, amelyek megfelelnek az ultra-nagy pontosságú keménységi mutatóknak a laposság, párhuzamosság és függőlegesség tekintetében, a nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámia alkatrészekhez, amelyek a félvezetőiparban az ostyadiffúziós, adalékolási, maratási folyamatokhoz szükségesek. , különösen a nagy tisztaságú CVDSiC anyag-előkészítési technológiában, kiforrott folyamattechnológiával rendelkezik, és megvalósította a nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámia kristályhajó, szilícium-karbid kerámia csapágylemez, szilícium-karbid kerámia levegőben lebegő mozgási platform, szilícium-karbid ultra szilícium-karbid gyártását. -precíziós mozgó platform, szilícium-karbid vezetősín, szilícium-karbid csúszósín alkatrészek.
A jövőben tovább bővítjük a szilícium-karbid anyagok alkalmazását a félvezetőiparban, és hozzájárulunk a félvezetőipari lánc és a szilícium-karbid kerámiaipar korszerűsítéséhez. Kínában a precíziós szilícium-karbid kerámia alkatrészek független kutatása és a hazai alkalmazás népszerűsítése most kezdődött, a félvezetőipar erőteljes fejlődésével az ilyen típusú csúcskategóriás kerámiaszerkezetek iránti piaci kereslet egyre nagyobb lesz, a szilícium-karbid kiváló fizikai és kémiai tulajdonságai, a félvezetőiparban széles körű alkalmazási lehetőségek vannak.
A szilícium-karbid kerámiák nemcsak szobahőmérsékleten kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkeznek, mint például nagy hajlítószilárdság, kiváló oxidációállóság, jó korrózióállóság, nagy kopásállóság és alacsony súrlódási együttható, hanem magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságokkal is (szilárdság, kúszásállóság stb.) a legismertebb kerámia anyagok. A szilícium-karbid jellemzői a korrózióállóság, a magas hőmérséklet-állóság, a nagy szilárdság, a jó hővezető képesség, az ütésállóság stb.
A litográfiai gép követelményei a munkadarab asztal szerkezetéhez: Ultrakönnyű (csökkenti a mozgás tehetetlenségét, csökkenti a motor terhelését), rendkívül nagy stabilitás (az ultraprecíziós megmunkálás nagy pontosságú mozgást és pozicionálást igényel, minimális méretdeformációt igényel a hőtágulás és egyéb tényezők ), tisztaság (nagy keménység és nagy kopásállóság), Megfelel a nagy méretű, üreges vékonyfalú, összetett szerkezetű és precíziós szilícium-karbid szerkezeti alkatrészek műszaki követelményeinek az integrált áramkör-gyártás legfontosabb berendezéseihez, amelyeket fotolitográfiai gép képvisel.
Fountyl képességek
Maximális méret:1600 mm.
Struktúra testreszabása:könnyű szerkezet, a súlyszerkezet csökkentésére tervezhető.
Nagy pontosság:A laposság 5 mikronon belül, vagy még nagyobb pontossággal szabályozható.