Trave quadrata e binario di guida per piattaforme di movimento ultraprecise e apparecchiature di rilevamento

Prendendo come esempio il gruppo del mandrino a vuoto, il materiale utilizzato nei primi wafer da 2 e 4 pollici era l'alluminio aeronautico, ma ha incontrato il collo di bottiglia di una planarità ultraelevata (migliore di 1 micron) nell'era dei wafer di grandi dimensioni. wafer (8" e più di 8"), che non riescono a soddisfare l'indice rigido di ultraelevata planarità e vengono eliminati. Successivamente, il materiale di allumina come transizione, il suo modulo elastico, la leggerezza, la conduttività termica e il coefficiente di dilatazione e il carburo di silicio sono nani, ma non in qualche modo imbarazzanti; Dopo la svolta nella tecnologia di preparazione delle ceramiche in carburo di silicio a struttura cava di grandi dimensioni e dalla forma speciale complessa, i componenti tra cui la base del pezzo ultrapreciso, la guida del galleggiante dell'aria ultraprecisa e il braccio di trasmissione del wafer sono stati aggiornati.

Non solo le parti in ceramica di carburo di silicio sopra menzionate che soddisfano gli indicatori rigidi di altissima precisione in termini di planarità, parallelismo e verticalità, ma anche le parti in ceramica di carburo di silicio di elevata purezza necessarie per i processi di diffusione, drogaggio e incisione dei wafer nell'industria dei semiconduttori , in particolare nella tecnologia di preparazione dei materiali CVDSiC di elevata purezza, ha una tecnologia di processo matura e ha realizzato la produzione di barche in cristallo ceramico di carburo di silicio di elevata purezza, piastra portante in ceramica di carburo di silicio, piattaforma di movimento flottante ad aria in ceramica di carburo di silicio, carburo di silicio ultra -piattaforma mobile di precisione, binario di guida in carburo di silicio, componenti della guida di scorrimento in carburo di silicio.

In futuro, espanderemo ulteriormente l'applicazione dei materiali in carburo di silicio nell'industria dei semiconduttori e contribuiremo al miglioramento della catena industriale dei semiconduttori e dell'industria della ceramica del carburo di silicio. La ricerca indipendente cinese sui componenti ceramici di precisione in carburo di silicio e la promozione delle applicazioni domestiche è appena iniziata, con il vigoroso sviluppo dell'industria dei semiconduttori, la domanda di mercato per questo tipo di struttura ceramica di fascia alta sarà sempre più ampia, il carburo di silicio con le sue eccellenti caratteristiche fisiche e proprietà chimiche, nell'industria dei semiconduttori ha ampie prospettive di applicazione.