Дом
Главный продукт
Квадратная балка и направляющая для сверхточной платформы перемещения и оборудования обнаружения
Если взять в качестве примера узел вакуумного патрона, то материалом, использовавшимся в раннюю эпоху 2-дюймовых и 4-дюймовых пластин, был авиационный алюминий, но в эпоху крупногабаритных изделий он столкнулся с узким местом, связанным со сверхвысокой плоскостностью (лучше 1 микрона). пластины (8" и более 8"), которые не могут соответствовать жесткому показателю сверхвысокой плоскостности и отсеиваются. Далее, материал оксида алюминия в качестве перехода, его модуль упругости, легкий вес, коэффициент теплопроводности и расширения и карбид кремния затмевают, но не смущают; После прорыва в технологии изготовления крупногабаритной и сложной карбидокремниевой керамики специальной формы с полой структурой были модернизированы такие компоненты, как сверхточное основание заготовки, сверхточная воздушная поплавковая направляющая и рычаг передачи пластины.
Не только вышеупомянутые керамические детали из карбида кремния, которые соответствуют сверхвысокоточным жестким показателям плоскостности, параллельности и вертикальности, но и керамические детали из карбида кремния высокой чистоты, необходимые для процессов диффузии пластин, легирования и травления в полупроводниковой промышленности. , особенно в технологии подготовки материала CVDSiC высокой чистоты, имеет отработанную технологию процесса и реализовал производство керамических кристаллических лодочек из карбида кремния высокой чистоты, керамических опорных пластин из карбида кремния, керамической воздушной плавающей платформы из карбида кремния, ультра карбида кремния. -прецизионная подвижная платформа, направляющая из карбида кремния, компоненты направляющей из карбида кремния.
В будущем мы будем и дальше расширять применение материалов из карбида кремния в полупроводниковой промышленности и способствовать модернизации цепочки полупроводниковой промышленности и керамической промышленности на основе карбида кремния. Китайские прецизионные керамические компоненты из карбида кремния, независимые исследования и продвижение внутреннего применения только начались, с энергичным развитием полупроводниковой промышленности рыночный спрос на этот вид высококачественной керамической структуры будет все больше и больше, карбид кремния с его превосходными физическими и химические свойства, в полупроводниковой промышленности имеет широкие перспективы применения.
Керамика из карбида кремния не только обладает превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность на изгиб, отличная стойкость к окислению, хорошая коррозионная стойкость, высокая износостойкость и низкий коэффициент трения, но также механическими свойствами при высоких температурах (прочность, сопротивление ползучести и т. д.). являются наиболее известными керамическими материалами. Карбид кремния обладает характеристиками коррозионной стойкости, высокой термостойкости, высокой прочности, хорошей теплопроводности, ударопрочности и т. д.
Требования к литографической машине к конструкции стола заготовки: сверхлегкий (уменьшает инерцию движения, снижает нагрузку на двигатель), сверхвысокую стабильность (сверхточная обработка требует высокоточного перемещения и позиционирования, требуя минимальной размерной деформации, теплового расширения и других факторов). ), чистота (высокая твердость и высокая износостойкость). Он может соответствовать техническим требованиям большого размера, полых тонких стенок, сложной структуры и прецизионных конструкционных деталей из карбида кремния для ключевого оборудования производства интегральных схем, представленного фотолитографической машиной.
Фунтильные возможности
Максимальный размер:1600мм.
Настройка структуры:Легкая конструкция, может быть разработана для уменьшения веса конструкции.
Высокая точность:Плоскостность можно контролировать с точностью до 5 микрон и даже выше.