Neliömäinen palkki ja ohjauskisko erittäin tarkalle liikkeen alustalle ja tunnistuslaitteille

Esimerkkinä tyhjiöistukkakokoonpanosta, varhaisimman 2 tuuman ja 4 tuuman kiekkojen aikakaudella käytetty materiaali on lentoalumiinia, mutta se on kohdannut erittäin korkean litteyden (parempi kuin 1 mikroni) pullonkaulan suurten kokojen aikakaudella. kiekot (8 "ja enemmän kuin 8"), jotka eivät täytä ultrakorkean tasaisuuden kovaa indeksiä ja ovat eliminoituja. Seuraavaksi alumiinioksidimateriaali siirtymänä, sen kimmokerroin, kevyt paino, lämmönjohtavuus ja laajenemiskerroin ja piikarbidi kääpiö, mutta ei noin kiusallista; Suurikokoisen ja monimutkaisen, erikoismuotoisen onttorakenteen piikarbidikeramiikan valmistustekniikan läpimurron jälkeen komponentteja, mukaan lukien erittäin tarkka työkappaleen pohja, erittäin tarkka ilmakellukeohjain ja kiekon välitysvarsi, on päivitetty.

Ei vain edellä mainitut piikarbidikeraamiset osat, jotka täyttävät erittäin tarkat kovat tasomaisuuden, yhdensuuntaisuuden ja pystysuoraisuuden indikaattorit, erittäin puhtaille piikarbidikeraamisille osille, joita tarvitaan puolijohdeteollisuuden kiekkojen diffuusio-, seostus- ja syövytysprosesseihin. , erityisesti erittäin puhtaan CVDSiC-materiaalin valmistustekniikassa, sillä on kypsä prosessitekniikka, ja se on toteuttanut erittäin puhtaan piikarbidikeraamisen kristalliveneen, piikarbidikeraamisen laakerilevyn, piikarbidikeraamisen ilmakelluvan liikealustan, piikarbidin ultrapiikarbidin valmistuksen. -tarkkuus liikkuva alusta, piikarbidin ohjauskisko, piikarbidin liukukiskon komponentit.

Jatkossa laajennamme edelleen piikarbidimateriaalien käyttöä puolijohdeteollisuudessa ja myötävaikutamme puolijohdeteollisuuden ketjun ja piikarbidikeramiikkateollisuuden uudistamiseen. Kiinan tarkkuuspiikarbidikeraamikomponenttien riippumaton tutkimus ja kotimainen sovellusten edistäminen on juuri alkanut, puolijohdeteollisuuden voimakkaan kehityksen myötä tämänkaltaisen huippuluokan keraamisen rakenteen kysyntä tulee olemaan yhä suurempi, piikarbidi, jolla on erinomainen fyysinen ja kemiallisia ominaisuuksia, puolijohdeteollisuudessa on laajat sovellusmahdollisuudet.