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Viga cuadrada y riel guía para plataforma de movimiento de ultraprecisión y equipos de detección
Tomando como ejemplo el conjunto de mandril de vacío, el material utilizado en la primera era de las obleas de 2 y 4 pulgadas es el aluminio de aviación, pero se ha topado con el cuello de botella de la planitud ultra alta (mejor que 1 micrón) en la era de los tamaños grandes. obleas (8" y más de 8"), que no pueden alcanzar el índice duro de planitud ultraalta y se eliminan. A continuación, el material de alúmina como transición, su módulo elástico, peso ligero, conductividad térmica y coeficiente de expansión y carburo de silicio enano, pero no en algunos embarazosos; Después del gran avance en la tecnología de preparación de cerámicas de carburo de silicio de estructura hueca de formas especiales complejas y de gran tamaño, se han actualizado componentes que incluyen la base de la pieza de trabajo de ultraprecisión, la guía de flotador de aire de ultraprecisión y el brazo de transmisión de oblea.
No solo las piezas cerámicas de carburo de silicio mencionadas anteriormente que cumplen con los indicadores duros de ultra alta precisión de planitud, paralelismo y verticalidad, sino también las piezas cerámicas de carburo de silicio de alta pureza necesarias para los procesos de difusión, dopaje y grabado de obleas en la industria de semiconductores. , especialmente en la tecnología de preparación de materiales CVDSiC de alta pureza, tiene una tecnología de proceso madura y ha realizado la fabricación de botes de cristal cerámico de carburo de silicio de alta pureza, placa de soporte cerámico de carburo de silicio, plataforma de movimiento flotante de aire cerámico de carburo de silicio, carburo de silicio ultra -Plataforma móvil de precisión, riel guía de carburo de silicio, componentes del riel deslizante de carburo de silicio.
En el futuro, ampliaremos aún más la aplicación de materiales de carburo de silicio en la industria de semiconductores y contribuiremos a la mejora de la cadena de la industria de semiconductores y de la industria cerámica de carburo de silicio. La investigación independiente de componentes cerámicos de carburo de silicio de precisión y la promoción de aplicaciones nacionales de China acaban de comenzar; con el vigoroso desarrollo de la industria de semiconductores, la demanda del mercado para este tipo de estructura cerámica de alta gama será cada vez mayor, el carburo de silicio con su excelente físico y Propiedades químicas, en la industria de semiconductores tiene amplias perspectivas de aplicación.
Las cerámicas de carburo de silicio no sólo tienen excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia a la flexión, excelente resistencia a la oxidación, buena resistencia a la corrosión, alta resistencia al desgaste y bajo coeficiente de fricción, sino también propiedades mecánicas a altas temperaturas (resistencia, resistencia a la fluencia, etc.) son los materiales cerámicos más conocidos. El carburo de silicio tiene las características de resistencia a la corrosión, resistencia a altas temperaturas, alta resistencia, buena conductividad térmica, resistencia al impacto... etc.
Los requisitos de la máquina de litografía para la estructura de la mesa de la pieza de trabajo: ultraligera (reduce la inercia del movimiento, reduce la carga del motor), estabilidad ultraalta (el mecanizado de ultraprecisión requiere movimiento y posicionamiento de alta precisión, lo que requiere una deformación dimensional mínima de la expansión térmica y otros factores ), limpieza (alta dureza y alta resistencia al desgaste), puede cumplir con los requisitos técnicos de gran tamaño, pared delgada hueca, estructura compleja y piezas estructurales de carburo de silicio de precisión para el equipo clave de fabricación de circuitos integrados representado por la máquina de fotolitografía.
Capacidades de Fountyl
Talla máxima:1600 mm.
Personalización de la estructura:Estructura liviana, se puede diseñar para reducir el peso de la estructura.
Alta precisión:La planitud se puede controlar con una precisión de 5 micrones o incluso mayor.