Quadratstrahl & Führerschinn fir ultrapräzis Bewegungsplattform an Erkennungsausrüstung

Huelt d'Vakuum Chuck Assemblée als e Beispill, d'Material, dat an der fréierster 2 Zoll a 4 Zoll Wafer Ära benotzt gouf, ass Loftfaart Aluminium, awer et huet de Flaschenhals vun ultra-héicher Flaachheet (besser wéi 1 Mikron) an der Ära vu grousser Gréisst begéint. wafers (8 "a méi wéi 8"), déi net den haarden Index vun ultra-héich flatness treffen kann an eliminéiert. Nächst, Alumina Material als Iwwergank, seng elastesche Modul, Liichtjoer Gewiicht, thermesch Leit an Expansioun Koeffizient an Silicon Carbide Zwerg, awer net op e puer genéiert; Nom Duerchbroch an der Virbereedungstechnologie vu grousser Gréisst a komplexer spezieller Form huel Struktur Silicium Carbide Keramik, Komponente dorënner Ultra-Präzisioun workpiece Basis, Ultra-Präzisioun Loft float Guide, an wafer Transmissioun Aarm goufen aktualiséiert.

Net nëmmen déi uewe genannte Silicon Carbide Keramik Deeler, déi den ultra-héich Präzisioun haart Indikatoren op Flaachheet, Parallelismus a Vertikalitéit treffen, fir déi héich Puritéit Siliziumkarbid Keramik Deeler, déi fir d'Waferdiffusioun, Doping, Ätsprozesser an der Halbleiterindustrie néideg sinn. , virun allem an der héich-Rengheet CVDSiC Material Virbereedung Technologie, huet eng Reife Prozess Technologie, an huet d'Fabrikatioun vun héich-Rengheet Silicon Carbide Keramik Kristallboot realiséiert, Silicon Carbide Keramik Lagerplack, Silicon Carbide Keramik Loft schwammen Bewegung Plattform, Silicon Carbide Ultra -Präzisioun bewegt Plattform, Silicon Carbide Guide Schinn, Silicon Carbide Rutsch Schinn Komponente.

An Zukunft wäerte mir d'Applikatioun vu Siliziumkarbidmaterialien an der Hallefleitindustrie weider ausbauen an zu der Upgrade vun der Halbleiterindustriekette a Siliziumkarbid Keramikindustrie bäidroen. China d'Präzisioun Silicon Carbide Keramik Komponente onofhängeg Fuerschung an Gewalt Applikatioun Promotioun huet just ugefaang, mat der kräfteg Entwécklung vun semiconductor Industrie, de Maart Nofro fir dës Zort vun héich-Enn Keramik Struktur wäert ëmmer méi grouss ginn, Silicon Carbide mat senger excellent kierperlech an chemesch Eegeschaften, an der semiconductor Industrie huet breet Applikatioun Perspektiven.